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薄膜成分(EDX,WDX,AES,XPS,RBS,SIMS……);薄膜结构(XRD,GIXRD,TEM,HTRTM,LEED,RHLEED……);电子态及原子态(XPS,AES,UPS,IR,Raman……);薄膜形貌(SEM,TEM,SPM,AFM……),薄膜性能(硬度,膜-基结合力,摩擦学……)等
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