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辉光的颜色问题 [复制链接]

fwl1232004
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1#
t T
发表于 2010-12-12 21:08 |只看楼主
请教各位：磁控镀膜时，先充氩气时，辉光呈淡蓝色，当加充氧气时，辉光呈白色；如果是把氧气改为充氮气时，辉光呈黄带红，这正常吗？（靶材为钛或锆），理论上当充入反应性气体到一定程度时，电压也会随沉积速率的突变有个突然下降的现象吗，但这种现象我还没见到，是反应气体还不到位吗，呵呵，相对氩气，反应性气体已经很多了，流量计是：Ar  100，O2或N2   200，请各位发表一下宝贵的意见！
本主题由 管理员 jonathanhan 于 2011-6-9 9:56:48 执行 移动主题 操作
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jonathanhan
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jonathanhan

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Medal No.1
2#
t T
发表于 2010-12-13 08:10 |只看该用户

回复 1# fwl1232004 的帖子

颜色是正常的，各种气体辉光颜色不同
AIP
为成而就！为成而功！
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fwl1232004
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3#
t T
发表于 2010-12-13 12:24 |只看楼主

回复 2# jonathanhan 的帖子

哦，谢谢你的提示！
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joyce
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4#
t T
发表于 2010-12-13 21:52 |只看该用户

对于反应溅射镀TiO2薄膜，随着通入氧气含量的增加，电压会有一个急剧下降的过程，那是迟滞回线现象，当然沉积速率也会下降，是因为再靶表面形成了一层氧化物，氧化物的沉积速率小于Ti的沉积速率，所以会出现此现象。
相由心生，命有人造！
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fwl1232004
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5#
t T
发表于 2010-12-14 12:24 |只看楼主

回复 4# joyce 的帖子

呵呵，兄台，我的意思是说增加O2时，一直都没见到迟滞现象，开始是350V左右，请问大致下降多少呢？
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caiyazhi
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6#
t T
发表于 2010-12-23 08:59 |只看该用户

回复 1# fwl1232004 的帖子

正常辉光颜色！
回忆是糖，甜到忧伤！
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joyce
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7#
t T
发表于 2010-12-23 14:57 |只看该用户

回复 5# fwl1232004 的帖子

我们都是从600V降到200多V，你那350v是不是已经是氧化态了
相由心生，命有人造！
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season
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8#
t T
发表于 2011-10-11 13:36 |只看该用户

颜色正常
金属溅射和反应溅射在转换时会出现迟滞现象
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liumaoli
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t T
发表于 2011-10-11 20:17 |只看该用户

氧气太多，早就过量了。
恰似猛虎卧沙丘，潜伏爪牙忍受。
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mfpnzwm
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t T
发表于 2012-02-05 12:37 |只看该用户

不同的气体的辉光放电颜色问题，应该跟气体的能带结构有关，不同原子获得相同能量，会发出不同能量光子，呈现出不同的颜色。
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