薄膜网技术论坛

注册

 

返回列表
发新话题 回复该主题
查看: 381|回复: 9

CVD制备的TiCN涂层一般是压应力还是拉应力？ [复制链接]

永远爱家的YY
头像

  • 中级会员
  • 61
  • 0
  • 210
  • 0
  • 2011-04-09
  • 2012-03-06
1#
t T
发表于 2011-07-12 09:29 |只看楼主
我测出来CVD制备出的TiCN涂层是压应力的，而且数值还很大。
  但老师说一般CVD制备出来的涂层都是拉应力，而且理论来说这种涂层的应力应该很小的。
不知各位有测过这方面的涂层的应力吗？
分享 转发
TOP
wlhzjcn
头像

  • 新手上路
  • 4
  • 0
  • 12
  • 0
  • 2011-06-07
  • 2011-10-27
2#
t T
发表于 2011-07-12 13:18 |只看该用户

楼主要坚持自己的观点，老师说的不一定是对的。 CVD涂层应该是拉应力，我有点好奇，不知道怎么测这个力请楼主指点
最后编辑wlhzjcn 最后编辑于 2011-07-13 15:20:25
TOP
jonathanhan
头像

jonathanhan

  • 管理员
  • 1084
  • 0
  • 9969
  • 163
  • 2009-03-31
  • 2012-05-03
Medal No.1
3#
t T
发表于 2011-07-12 15:52 |只看该用户

用XRD通过2西塔角的偏移可以大概的算出来
AIP
为成而就！为成而功！
TOP
永远爱家的YY
头像

  • 中级会员
  • 61
  • 0
  • 210
  • 0
  • 2011-04-09
  • 2012-03-06
4#
t T
发表于 2011-07-12 18:36 |只看楼主

回复 2楼wlhzjcn的帖子

是用XRD慢扫 然后用专门的软件算出来的
TOP
jonathanhan
头像

jonathanhan

  • 管理员
  • 1084
  • 0
  • 9969
  • 163
  • 2009-03-31
  • 2012-05-03
Medal No.1
5#
t T
发表于 2011-07-13 08:49 |只看该用户

TiCN中，C处于TiN面心立方结构的间隙位置，直接结果是导致其原有晶格常数增大（一般所制备的薄膜都比基体的晶格常数偏大，这也是为什么一般都会产生压应力的原因），使得薄膜产生拉伸，由于基体的约束作用而产生压应力，此外，还有可能会有热应力及本征应力的影响，可以通过热处理予以一定程度的降低。
AIP
为成而就！为成而功！
TOP
wlhzjcn
头像

  • 新手上路
  • 4
  • 0
  • 12
  • 0
  • 2011-06-07
  • 2011-10-27
6#
t T
发表于 2011-07-13 09:20 |只看该用户

热处理降低的程度非常有限
TOP
永远爱家的YY
头像

  • 中级会员
  • 61
  • 0
  • 210
  • 0
  • 2011-04-09
  • 2012-03-06
7#
t T
发表于 2011-07-13 13:28 |只看楼主

回复 5楼jonathanhan的帖子

理论上是这样 但跟制备工艺也有关系吧？ PVD和CVD一样吗？
TOP
wlhzjcn
头像

  • 新手上路
  • 4
  • 0
  • 12
  • 0
  • 2011-06-07
  • 2011-10-27
8#
t T
发表于 2011-07-13 14:33 |只看该用户

PVD应该是压应力
最后编辑wlhzjcn 最后编辑于 2011-07-13 15:20:47
TOP
jonathanhan
头像

jonathanhan

  • 管理员
  • 1084
  • 0
  • 9969
  • 163
  • 2009-03-31
  • 2012-05-03
Medal No.1
9#
t T
发表于 2011-07-14 00:14 |只看该用户

CVD较PVD技术所制备的薄膜由于粒子能量的差异，导致生成的薄膜发生晶格畸变程度不同，因此还是有差异的，PVD所制备的薄膜畸变更大些
AIP
为成而就！为成而功！
TOP
CVD
头像

  • 新手上路
  • 8
  • 0
  • 30
  • 0
  • 2011-09-30
  • 2011-11-07
10#
t T
发表于 2011-10-07 20:42 |只看该用户

HFCVD钽丝为什么容易变形
TOP
上一主题| 下一主题
返回列表
发新话题 回复该主题
高级编辑器高级编辑器