薄膜网技术论坛

注册

 

返回列表
发新话题 回复该主题
查看: 1101|回复: 24

磁控溅射无法偏压清洗 [复制链接]

涂层材料
头像

  • 新手上路
  • 4
  • 1
  • 54
  • 0
  • 2011-07-24
  • 2011-08-01
1#
t T
发表于 2011-07-24 01:06 |只看楼主
我们使用氩气进行偏压清洗时，电压一旦超过300伏，占空比指针就摆动，真空室内的转架上打火，再继续加就会在转架与真空室底部之间出现强烈的辉光，自己查了好久还是找不到原因，希望各路英雄慷慨相助，多多赐教！
本主题由 管理员 Weikeke 于 2011-7-24 16:14:32 执行 设置精华/取消 操作
分享 转发
TOP
Weikeke
头像

  • 管理员
  • 1918
  • 9
  • 13997
  • 0
  • 2011-07-12
  • 2012-05-18
2#
t T
发表于 2011-07-24 16:11 |只看该用户

我溅射清洗都是在800V到900V清洗，也没出现过这种现象呀？
TOP
yuwumei
头像

  • 新手上路
  • 1
  • 0
  • 23
  • 0
  • 2011-07-24
  • 2011-07-24
3#
t T
发表于 2011-07-24 16:14 |只看该用户

一：绝缘有问题
二：氩气量不对
三：布气不均匀

    已有1评分我要评分查看所有评分
    TOP
    涂层材料
    头像

    • 新手上路
    • 4
    • 1
    • 54
    • 0
    • 2011-07-24
    • 2011-08-01
    4#
    t T
    发表于 2011-07-24 21:56 |只看楼主

    我们以前也是能加到800伏的，但现在就加不上去，打火很严重，我查不出哪里绝缘有问题，是不是转架与真空室底板之间绝缘有问题？请详细说明下氩气量，布气对其的影响。
    TOP
    jonathanhan
    头像

    jonathanhan

    • 管理员
    • 1084
    • 0
    • 9969
    • 163
    • 2009-03-31
    • 2012-05-03
    Medal No.1
    5#
    t T
    发表于 2011-07-25 08:26 |只看该用户

    回复 4楼涂层材料的帖子

    转架与绝缘板之间绝缘不好的可能性很大，建议拆下清理一遍，不然不可能出现大火的情况
    AIP
    为成而就！为成而功！
    TOP
    ahzheng
    头像

    • 注册会员
    • 51
    • 0
    • 138
    • 0
    • 2010-08-19
    • 2011-11-21
    6#
    t T
    发表于 2011-07-25 12:46 |只看该用户

    同意楼上的观点,不知道你的转架与炉体之间绝缘的结构是怎样的,但肯定这个地方绝缘没有做好，这个地方不要有“死空气”，转架上的紧固件与炉体之间要保持一定的距离，不要太近，另外工作真空度和氩气流量有一定关系，把氩气流量调大一点看看
    TOP
    fanyushan
    头像

    浮华寄子

    • 铜牌会员
    • 568
    • 0
    • 2485
    • 180
    • 2009-09-09
    • 2012-05-18
    Medal No.5
    7#
    t T
    发表于 2011-07-26 11:51 |只看该用户

    去掉转架的冷却水和电源，用摇表摇一下电阻，看看是多少吧。
    另外，设计不合理的设备，转架底部和腔体放电严重，那你只能通过调整真空和偏压大小，尽量把辉光引到转架工件上吧。
    TOP
    涂层材料
    头像

    • 新手上路
    • 4
    • 1
    • 54
    • 0
    • 2011-07-24
    • 2011-08-01
    8#
    t T
    发表于 2011-07-26 22:54 |只看楼主

    谢谢大家的建议，我们测量了，转架齿轮盘与地板之间电阻在100兆欧以上，看似没有绝缘问题，我们估计是转架上半部分竖杆导电性因被连带镀上绝缘的涂层，导电性下降造成辉光更容易发生在底部，因为底部几乎没有被镀上涂层，光洁的金属面也和大。另，我这几天还把转架彻底去掉，又加偏压清洗，发现中间磁流体金属井内300伏以上就有辉光，占空比指针也没有发生摆动，估计中间偏压装置没有问题。现在觉得还是转架金属部件太脏了。目前在彻底打磨挂试样的金属杆，已露出原有的金属面。
          以上想法不知是否正确，还望大家评议！
    TOP
    fanyushan
    头像

    浮华寄子

    • 铜牌会员
    • 568
    • 0
    • 2485
    • 180
    • 2009-09-09
    • 2012-05-18
    Medal No.5
    9#
    t T
    发表于 2011-08-07 11:01 |只看该用户

    你用的什么偏压，镀的什么膜层？一般情况下，不会出现你说的哪种膜层绝缘性那么好。另外，转架一定定期用喷砂机彻底喷砂，露出金属底材。一定用摇表，万用表的不可以
    不过根据你的描述，应该设备没有问题，就是你的转架太脏了吧。

      已有1评分我要评分查看所有评分
      TOP
      fawang9831
      头像

      • 新手上路
      • 9
      • 0
      • 37
      • 0
      • 2011-08-27
      • 2012-04-29
      10#
      t T
      发表于 2011-08-27 16:37 |只看该用户

      哈哈，个人觉得还是绝缘的问题，该绝缘的地方没绝缘，不该绝缘的地方绝缘了。该绝缘的地方没绝缘一般是拆装的时候失误或运行时导致某些东西松动，不该绝缘的地方绝缘了一般是被镀上绝缘层了。

        已有1评分我要评分查看所有评分
        TOP
        hangky
        头像

        • 高级会员
        • 89
        • 0
        • 680
        • 30
        • 2008-04-02
        • 2012-01-18
        11#
        t T
        发表于 2011-09-08 21:22 |只看该用户

        应该是工件转架太脏的缘故，需要定期清理
        TOP
        Weikeke
        头像

        • 管理员
        • 1918
        • 9
        • 13997
        • 0
        • 2011-07-12
        • 2012-05-18
        12#
        t T
        发表于 2011-09-09 10:58 |只看该用户

        把转架清洗一下。
        TOP
        liumaoli
        头像

        • 版主
        • 825
        • 1
        • 4146
        • 140
        • 2011-04-13
        • 2012-05-20
        13#
        t T
        发表于 2011-09-10 10:48 |只看该用户

        设备太脏就会出现打火问题。清洗完就没事了。
        恰似猛虎卧沙丘，潜伏爪牙忍受。
        TOP
        wangwei840510
        头像

        • 中级会员
        • 53
        • 0
        • 300
        • 10
        • 2009-08-19
        • 2012-05-08
        14#
        t T
        发表于 2011-09-13 10:37 |只看该用户

        是转架于炉体绝缘的问题，我碰到过这种现象，测量的时候转架最好是转动的，另外转架或工件杆上有连接不紧的也会引起打火，转架转得越快越明显。还有就是炉内太脏肯定会引起打火的。
        TOP
        793492086
        头像

        • 注册会员
        • 64
        • 0
        • 155
        • 0
        • 2010-03-05
        • 2012-03-16
        15#
        t T
        发表于 2011-09-15 16:07 |只看该用户

        学到不少东西，各位高手
        TOP
        liumaoli
        头像

        • 版主
        • 825
        • 1
        • 4146
        • 140
        • 2011-04-13
        • 2012-05-20
        16#
        t T
        发表于 2011-09-15 20:06 |只看该用户

        个人认为绝缘不好不会造成打火！！
        恰似猛虎卧沙丘，潜伏爪牙忍受。
        TOP
        xiaohuang
        头像

        • 高级会员
        • 325
        • 0
        • 1013
        • 0
        • 2009-11-28
        • 2012-05-20
        17#
        t T
        发表于 2011-09-16 16:52 |只看该用户

        我昨天实验室清洗是  加大偏压也打火  我觉得是太脏了   靶台太脏了
        TOP
        xingfutuoluo
        头像

        • 中级会员
        • 86
        • 0
        • 330
        • 0
        • 2011-05-20
        • 2012-05-15
        18#
        t T
        发表于 2011-11-16 14:36 |只看该用户

        学习了，谢谢！
        TOP
        随机应变
        头像

        随机应变

        • 注册会员
        • 65
        • 0
        • 192
        • 0
        • 2010-11-06
        • 2012-05-03
        19#
        t T
        发表于 2011-11-26 13:55 |只看该用户

        主要还是偏压的问题了，还有就是炉子太脏了！
        为了社会的发展而努力奋斗
        TOP
        shinee
        头像

        • 新手上路
        • 17
        • 0
        • 51
        • 0
        • 2012-02-08
        • 2012-02-13
        20#
        t T
        发表于 2012-02-13 10:39 |只看该用户

                 one love  

        唯一
        http://baike.baidu.com/view/5338032.htm
        TOP
        cztchina
        头像

        • 中级会员
        • 71
        • 0
        • 239
        • 0
        • 2009-11-01
        • 2012-05-13
        21#
        t T
        发表于 2012-03-19 19:05 |只看该用户

        您们偏压的电流大约是多少呢？
        TOP
        cztchina
        头像

        • 中级会员
        • 71
        • 0
        • 239
        • 0
        • 2009-11-01
        • 2012-05-13
        22#
        t T
        发表于 2012-03-19 19:06 |只看该用户

        您们偏压的电流大约是多少呢？
        TOP
        cztchina
        头像

        • 中级会员
        • 71
        • 0
        • 239
        • 0
        • 2009-11-01
        • 2012-05-13
        23#
        t T
        发表于 2012-03-19 19:09 |只看该用户

        回复 10楼fawang9831的帖子

        您们偏压的电流大约是多少呢？
        TOP
        cztchina
        头像

        • 中级会员
        • 71
        • 0
        • 239
        • 0
        • 2009-11-01
        • 2012-05-13
        24#
        t T
        发表于 2012-03-19 19:10 |只看该用户

        您们偏压的电流大约是多少呢？
        TOP
        cztchina
        头像

        • 中级会员
        • 71
        • 0
        • 239
        • 0
        • 2009-11-01
        • 2012-05-13
        25#
        t T
        发表于 2012-03-19 19:12 |只看该用户

        回复 10楼fawang9831的帖子

        请教您一个问题：是否镀绝缘膜的设备，使用一段时间后，即使绝缘很好，偏压就会不好用，因为真空室内壁布满绝缘膜。
        TOP
        上一主题| 下一主题
        返回列表
        发新话题 回复该主题
        高级编辑器高级编辑器