真空度有问题 [复制链接]

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我也遇到过这种问题，可能是压强计和质量流量计之间的反馈出现了些许问题，之前我们也一直没有解决
主要还是因为在小流量时气体的消耗与供给可以平衡，当超过这个点时就会出现问题，像你上面说的这样，气体供给大于消耗就会导致气体在腔体内部囤积，出现真空度下降的问题。
检查下流量计看看吧，这方面我也不太明白。只知道基本是这个原因

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应该是真空记有问题，0pa呀，大哥，那可是没有气体呀

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哎呀。看来我没看清楚问题
0帕？那是气体不通入了，不知道有没有观察真空室内气体颜色情况？

回复 3楼fanyushan的帖子 哎呀。看来我没看清楚问题 0帕？那是气体不通入了，不知道有没有观察真空室内气体颜色情况？ jonathanhan 发表于 2011-8-22 12:02:00

到0帕后，真空室的颜色和正常做货颜色不一样。
朋友，你说也遇到过类似的情况，后来怎么样了？我刚看到维持泵的进油出油那的O型环坏了，换了看下结果，不知道是不是那的问题

明天要检测下扩散泵真空度了。
要确认真空计是否有问题，供应商讲应该这样：只开V1阀，时间抽长到-1帕左右时，点靶，看真空下降到接近或到-2帕，再慢慢开气体，看真空是否稳定，稳定的话，真空计没问题。再测扩散泵真空度以确认是否是油氧化了。
PS：之前失误，扩散泵加热我们一直只加热1小时，以后要加热一个半小时以上

扩散泵抽速是不是有问题？我也遇到过这种情况，原因是扩散泵油温有问题，抽速小了。

真空可以抽下去，但是充气体时，维持不了。如果单测扩散泵真空，不能接近-4的话，很大程度上应该是扩散泵油氧化了

回复 8楼明镜止水的帖子

颜色是变深了对吧，那要么是抽力不够，要么是真空计的问题，像变到0帕我们真没遇到过，应该是真空计超过量程显示不了了，你可以计算下抽真空的时间，看是否比以往要耗时更久。我们的是真空计有问题，维持不了，期待看你的检测结果

换了扩散泵油，全部解决了，不过抽速比以前慢了点

可喜可贺！！！

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想问下，你用的什么油？什么牌子，型号？