怎样做玫瑰金膜 [复制链接]

可能是气路布置，或者工件放置位置的问题，能否变动下，尽量放置在等离子体分布较为均匀的区域
不知道使用的是什么设备？

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谢谢指点。我们的设备是多弧离子镀膜机，做单金属都比较均匀，做化合物就有此问题。

小圆靶多弧设备，做单金属，或者浅颜色，或者单一反应气体均匀性还是可以，但是做比例气体，如氮气和乙炔气这种按比例进气的，均匀性就会有很大问题，磁控溅射也存在同样的问题，有些时候也只能牺牲装载量了。

是不是工件摆放有问题？

跟工件摆放的疏和密是有关系的，这个影响同一个工件不同部位的色差。
高度上的色差还是和弧源的整体排布，布气，工艺都有关系的。还有一点就是和弧源的烧蚀情况关系也很大，新靶和旧靶是完全不一样的，新靶的蒸发速率快，旧靶蒸发速率慢，所以要观察一下靶材的烧蚀情况，如果某块靶材和其他靶材形状差很多，那就应该考虑更换（最好是整体更换，否则还是容易不均匀）。

本人观点都是道听途说，没有实际经验。
欢迎大家多去真空导航网转转www.vac-guide.com

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很有道理，摆放太密会由于各工件等离子体鞘层的互相干扰而使得所制备的工件产生局部不均匀的现象，理论上是这么说的。不过对于多弧来说，不均匀性是很难避免的，和其等离子体分部相关。
大家可以继续讨论

多做一段时间，效果是不是好些，我遇到过这种情况。开始上下不均匀，做了半个多月，均匀性就好了。可能是炉体内镀膜层改变导致吧？至今没有找到合适的理由。大家多交流一下！！

如果做单纯的碳氮化钛外面不加玫瑰金那么最好的解决办法是调整气管，当然你有条件可以用螺旋交叉弧100*30的试验（单价在4400元/个），在空间分布上满足60°夹角就可以满足正反色差的解决和分层的问题，这个已经反反复复的验证过，另外根据你的类玫瑰金色的深浅也对色差有一定的影响，气管不要转弯，尽量直，双气管套最好，开孔有讲究！这个解决不难！

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多弧的绕射性还是很好的，一般都不会上那么密，一般都是半个身位，所以在小偏压下暗区是变化不大的，超不出半身位！

差点忘记了，弧基距是多少？最佳在180~~~220之间

    非常感谢各位的指点。在生产过程中我确实发现工件大小、装挂疏密、上下位置都与色差有很大关系。为此我只能每炉做同一种尺寸的工件，这样就好控制工艺。
  另外，我在金属上做还得不到满意的玫瑰金色，总是暗紫色，是否N:C比例不对？一般应该多少合适？

回复 11楼caiyazhi的帖子

您指的弧基距是否弧靶间距？我们的靶是螺旋形布置的所以单列间距是320，实际上大约是160

向各位学习