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新靶问题 [复制链接]

rill88888
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t T
发表于 2011-09-07 02:07 |只看楼主
多弧设备，一个平面靶330*170*28，每次换上新靶总会引弧困难，烧靶时偏压上下起降，不稳定，等靶材用过一段时间才开始稳定，冷却跟绝缘是没问题的，请问在新靶材刻蚀前期有没有好的办法能使其偏压稳定呢？提高靶电流与气压有用吗？
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jonathanhan
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jonathanhan

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t T
发表于 2011-09-07 08:08 |只看该用户

请问靶材材料是？
用过一段时间，是多久？
有没有可能是磁场的关系或者靶材有问题
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fanyushan
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浮华寄子

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t T
发表于 2011-09-07 12:28 |只看该用户

平面弧靶的话，28mm的厚度可是够厚的呀。往这里考虑一下吧。
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263796044
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t T
发表于 2011-09-07 17:58 |只看该用户

靶材很重要啊。
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rill88888
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t T
发表于 2011-09-07 19:01 |只看楼主

回复 2楼jonathanhan的帖子

用的钛靶与粉末铝钛新靶都有这问题，大概靶材刻蚀用到凹下去点才慢慢开始稳定，我们靶材磁场设计是一个磁铁在中间转，请问磁铁与新靶材之间距离是不是调节近一点，这样磁场相对要好点？

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    jonathanhan
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    jonathanhan

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    t T
    发表于 2011-09-08 08:46 |只看该用户

    回复 5楼rill88888的帖子

    可以尝试调节下
    就只有这两种靶材会出现这种问题么？
    别的靶材在相同厚度的时候如何？
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    liumaoli
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    t T
    发表于 2011-09-08 18:33 |只看该用户

    靶材表面磁场强度是多少？有没有数据？
    恰似猛虎卧沙丘，潜伏爪牙忍受。
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    shekro
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    t T
    发表于 2011-09-09 09:48 |只看该用户

    计算一下凹蚀下去的靶材表面积，推算电流密度，在新的靶材的时候适当坐下工艺参数的调整。看看有没有好转。
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