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高温下磁控镀膜与常温的区别？ [复制链接]

xuelianll2008
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t T
发表于 2011-09-13 23:27 |只看楼主
我常温镀纯Cu，就是很正常的紫铜的颜色，将真空室加温到200℃，再镀，表面就有点雾蒙蒙的感觉，而且颜色也比常温的要深，不知道出了什么问题，镀Al,镀Ag都这样，表面就像涂了一层牛奶一样，雾蒙蒙的，有没有人高温下度过纯金属，求指点，磁控溅射镀膜，分子泵抽气。
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pg35
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t T
发表于 2011-09-14 02:02 |只看该用户

将真空室加温到200℃, 本底真空会差很多,导致氧化增多.
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xuelianll2008
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3#
t T
发表于 2011-09-14 08:50 |只看楼主

杂气我也考虑过，可是即使有氧气，镀出来只是颜色有变化，比如变成彩色等等，但是膜层的颜色应该是清晰的，而不是雾蒙蒙的。
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liumaoli
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t T
发表于 2011-09-14 18:16 |只看该用户

你的本底真空多少？把工艺大致说一下。
恰似猛虎卧沙丘，潜伏爪牙忍受。
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Weikeke
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t T
发表于 2011-09-14 19:33 |只看该用户

是不是膜间结合力不好，可以考虑加过渡层。
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xuelianll2008
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t T
发表于 2011-09-15 08:36 |只看楼主

回复 4楼liumaoli的帖子

本地真空4.5×10-3，用直流磁控溅射点Cu靶，溅射电压为0.4PA，5A，400V. 镀膜12分钟。
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xuelianll2008
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t T
发表于 2011-09-15 08:37 |只看楼主

回复 5楼Weikeke的帖子

应该不是，我在不锈钢表面镀膜，而且开始两分钟的时候膜层还是好的，亮亮的。
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Weikeke
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t T
发表于 2011-09-15 08:39 |只看该用户

膜越厚，膜间结合力越不好。估计是膜崩了。
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xuelianll2008
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t T
发表于 2011-09-15 12:28 |只看楼主

问题已解决，是真空室内壁渗水，有水汽了，因为是双层水冷，内壁焊得不好。。。
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season
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t T
发表于 2011-09-15 13:04 |只看该用户

估计是再高温下因本底真空不是很好有Cu的氧化物或者氮化物沉积引起的
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Weikeke
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t T
发表于 2011-09-15 17:49 |只看该用户

哦，实践是检验真理的唯一标准。
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liumaoli
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t T
发表于 2011-09-15 20:00 |只看该用户

恭喜楼主问题解决！！
恰似猛虎卧沙丘，潜伏爪牙忍受。
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caiyazhi
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t T
发表于 2011-09-16 08:08 |只看该用户

唉，难道搞磁控镀膜的就这样？？？
回忆是糖，甜到忧伤！
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discover
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t T
发表于 2011-09-16 10:03 |只看该用户

原来是设备的问题，不是工艺的问题呵呵
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flashxu0119
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t T
发表于 2011-09-16 14:34 |只看该用户

解决问题是最好！漏水就很有问题了。
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xiaohuang
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t T
发表于 2011-09-16 16:56 |只看该用户

回复 9楼xuelianll2008的帖子

太强了   漏水都没发现  哈哈
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真空镀膜
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t T
发表于 2011-09-19 07:02 |只看该用户

渗水还能抽到4.5*10-3
不过感觉你这个问题原因应该在温度上，不知楼主解决渗水问题后，同样温度下做 出来效果怎样？出来反馈一下。
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liumaoli
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t T
发表于 2011-09-20 18:59 |只看该用户

镀膜中出现的很多问题都跟设备有很大关系！！
恰似猛虎卧沙丘，潜伏爪牙忍受。
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muyu
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t T
发表于 2011-09-26 22:06 |只看该用户

应该是漏点很小，在高温的情况下，水蒸发了，基材上面就有了
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121406768
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t T
发表于 2011-11-30 11:54 |只看该用户

有可能是箱体内水蒸气蒸发导致的
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葵花点穴手h
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t T
发表于 2011-12-01 21:29 |只看该用户

回复 9楼xuelianll2008的帖子

请问楼主是怎么发现渗水的？看楼住描述的应该不易发现的那种
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葵花点穴手h
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t T
发表于 2011-12-01 21:31 |只看该用户

回复 2楼pg35的帖子

为什么高温真空度差呢？加热的话会使残留水蒸发，应该是真空度好啊，请教
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