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田民波教授 [复制链接]

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田民波教授

电话:010-62772851,62795426        Email:tmb@mail.tsinghua.edu.cn
通讯地址:清华大学材料科学与工程系     北京 100084

主要学历:
1964.9-1970.3 清华大学工程物理系,大学本科
1978.10-1980.3 清华大学工程物理系,材料物理专业,硕士

主要工作经历:
1970.3-1978.9 清华大学核能技术研究院,技术员
1980.3-1994.10 清华大学工程物理系,材料科学与工程系,教务科长,副系主任,副教授
1994.10-1995.10 日本京都大学,国家公派访问学者
1995.9-1998.3 清华大学材料科学与工程系,副系主任
1998.3-1999.9 日本Kyoto Elex 株式会社,客座研究员
1999.9-2003.3 清华大学材料科学与工程系,教授
2003.3-2003.5 日本Kyoto Elex 株式会社,客座研究员
2003.5-现在 清华大学材料科学与工程系,教授

主要研究领域:
  主要研究领域为电子材料及元器件工艺,包括微电子封装、平板显示器、薄膜技术与材料、高密度多层基板、低温共烧多层基板(LTCC)等。
已经和现承担的课题有:
  (1) 国家级科学基金重大项目“高密度封装的应用基础研究”
  (2) 国际合作项目“零收缩率LTCC研究”
  (3) “十五”军工预研项目“新型叠层LCCC-3D MCM封装技术研究”
  (4) “863”项目“银掺合型聚合物导体材料的研究和开发”
  (5) “985”面上项目“低温共烧陶瓷多层基板及高密度封装研究”
  (6) 横向课题“环保及高频型复合材料基板及塑封料研究”   
    (7) 横向课题“应用于微电子封装的硅微粉研究”
    (8) 横向课题“应用于微电子封装的各向异性导电胶、导电膜研究”
获专利3项:
  (1) 中国实用新型专利:电机用永磁转子
  (2) 中国实用新型专利:永磁无刷直流电动机
  (3) 中国发明专利:一种制备零收缩率低温共烧陶瓷多层基板的工艺
代表性论文:
    共发表论文近100篇,其中SCI.25篇,EI.21篇,国际会议4篇,国内核心刊物30余篇。

教学工作:
    长期从事材料科学与工程系本科专业基础课及专业课的教学工作,先后承担《材料科学概论》、《固体形变及力学形为》、《相平衡与相变》、《材料科学基础》、《材料表面改性技术》、《薄膜技术与薄膜材料》、《晶体结构与缺陷》、《电子封装》,研究生课程《平板显示与材料》、《电子封装工程》等多门课。在教学中贯彻“课程体系从学科发展上定位,教学内容从教学理念上更新,教学方法与国际发展同步,核心在于培养学生的创新精神”的改革思路,积极投入,教学效果较好。如《材料科学基础》2002年春季总体评估为89.35±2.19,2002年秋季为90.51±2.00,2003年秋季为92.01±1.78,2004年秋季为88.39±2.15,2005年秋季为87.86±2.21,2006年秋季为90.69±2.13,教学效果多年保持全系第一、全校领先。学生评估为:认真投入,讲课有激情;课堂气氛活跃,师生交流好;注意联系实际,引入新的教学内容;“清华水平”,“堪称精品”。2002年该课程被确定为清华大学在建校级精品课,2004年被评为北京市精品课(证书编号2004009),2006年被授予清华大学精品课程称号,2007年正式申报国家级精品课。

教材与著作:
   配合本科生和研究生教学,编写出版教材和专著10余部:
 (1)材料科学基础(102万字).潘金生,仝建民,田民波.清华大学出版社,1998年
 (2)薄膜技术基础(45万字).田民波.校内讲义,1997年
 (3)磁性材料(45万字).田民波. 清华大学出版社,2001年
 (4)电子显示(51万字).田民波. 清华大学出版社,2001年
 (5)电子封装工程(89万字).田民波.清华大学出版社,2003年
 (6)高密度封装基板(98万字).田民波,林金堵,祝大同.清华出版社,2003年
 (7)多孔固体——结构与性能(54万字).刘培生译,田民波校.清华出版社,2003年
 (8)材料科学基础学习辅导. 范群成、田民波. 机械工业出版社,2005年
 (9)半導體電子元件構裝技術. 田民波. 台湾五南图书出版公司,2005年
 (10)薄膜技术与薄膜材料(120万字). 田民波.清华大学出版社,2006年
 (11)材料科学基础——英文教案. 田民波. 清华大学出版社,2006年
 (12)OLED有机电致发光材料与元件. 陈金鑫,黄孝文,田民波. 清华大学出版社,2007年出版
 (13)TFT-LCD面板的驱动与设计. 戴亚翔,田民波. 清华大学出版社,2007年出版
 (14)材料科学基础考研试题汇编:2002-2006. 范群成,田民波. 机械工业出版社,2007年出版
 正准备出版的教材:
 (15)“十一五”国家级重点教材《材料科学基础》.田民波. 清华大学出版社,预计2008年出版
 (16)晶圆与芯片.田民波. 清华大学出版社,预计2007年出版
 (17)液晶顯示器. 田民波. 台湾五南图书出版公司,预计2007年出版

奖励与表彰:
   十五年来,材料科学基础的教学和改革取得丰硕成果。与此相关的奖励如下:
  (1) 1990年,获清华大学教学工作优秀成果一等奖
  (2) 1992年,材料科学与工程系课程体系改革获清华大学教学工作优秀成果一等奖
  (3) 1994年,获清华大学教学工作优秀成果一等奖
  (4) 1996年,获清华大学教学工作优秀成果二等奖
  (5) 1997年,获得“清华之友——优秀教师奖励金”青年教师群体奖
  (6) 1997年,获得“清华之友——优秀教师奖励金”一等奖
  (7) 2000年,获“清华之友——优秀教师奖”
  (8) 2001年,《材料科学基础》获清华大学校级优秀教材一等奖
  (9) 2002年,《材料科学基础(1,2)》课程教学改革,获清华大学教育优秀成果二等奖
  (10) 2003年9月10日,获“清华大学教书育人奖”和“清华大学教书育人奖章”
   (11) 2004年,《材料科学基础》被评为北京市精品课
   (12) 2006年,《材料科学基础》获清华大学校级精品课称号  
  (13) 2006年9月,获北京市优秀教师称号。

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为什么牛人的名字都是三字的啊?
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我发现牛人的名字还有四个字的呢,爱因斯坦,也有两个字的,牛顿,好像还没有一个字的,呵呵, 比如“枫”什么的
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田老的经典著作正在论坛连载中,请大家关注
coatingdata团队
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看田老师的书好久了,第一次看到这么全的个人介绍。激动啊!
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正在学习之中,很有价值!
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(10)薄膜技术与薄膜材料(120万字). 田民波.清华大学出版社,2006年
coatingdata团队
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买本书去,仔细学习一下。
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学习之中,很有价值!
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材料(120万字). 田民波.清华大学出版社
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呵呵~~田老的书确实很经典啊~~
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我已经买来了。150块大洋
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已经从图书馆借了一本,正看着呢,感觉就是好,田教授的这本书是我看过的的最全面的关于薄膜材料方面的书籍。
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田老的书的确很不错
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买了一本,正在读
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著作等身,呵呵!
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田老的书那是的相当不错的~~
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看田老师的书好久了,第一次看到这么全的个人介绍。激动啊!
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不错哦,景仰中!
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当当卖120元 http://product.dangdang.com/product.aspx?product_id=9226777 内容简介 薄膜及微细加工技术的应用范围极为广泛,从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、太阳能电池,到材料的表面改性等,涉及高新技术产业的各个领域。本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用、薄膜成分与结构分析等5大部分,涉及薄膜技术与薄膜材料的各个方面,知识全面,脉络清晰。全书共17章,文字通俗易懂,并配有大量图解,有利于对基本知识的理解、掌握与运用。对于从事相关行业的科技工作者与工程技术人员,本书具有极为难得的参考价值,同时也是其他感兴趣读者了解薄膜材料与技术在高新技术中应用的一本很好的入门书籍。 目录 第1章 薄膜与高新技术 第2章 真空技术基础  2.1 真空的基本知识  2.2 真空的表征  2.3 气体分子与表面的相互作用 第3章 真空泵与真空规 3.1 真空泵  3.2 真空测量仪器——总压强计 第4章 真空装置的实际问题  4.1 排气的基础知识  4.2 材料的放气  4.3 排气时间的估算  4.4 实用的排气系统  4.5 检漏  4.6 大气温度与湿度对装置的影响  4.7 烘烤用的内部加热器  4.8 化学活性气体的排气 第5章 气体放电和低温等离子体  5.1 带电粒子在电磁场中的运动  5.2 气体原子的电离和激发  5.3 气体放电发展过程  5.4 低温等离子体概述  5.5 辉光放电  5.6 弧光放电  5.7 高频放电  5.8 磁控放电  5.9 低压力、高密度等离子体放电 第6章 薄膜生长与薄膜结构  6.1 薄膜生长概述  6.2 吸附、表面扩散与凝结  6.3 薄膜的形核与生长  6.4 连续薄膜的形成  6.5 薄膜的生长过程与薄膜结构  6.6 非晶态薄膜  6.7 薄膜的基本性质  6.8 薄膜的粘附力和内应力  6.9 电迁移 第7章 表面结构与薄膜的外延生长  7.1 理想表面结构  7.2 清洁表面结构  7.3 实际表面结构  7.4 薄膜的外延生长  7.5 影响薄膜外延的因素 第8章 薄膜沉积的共性问题  8.1 成膜工艺与膜材料简介  8.2 源和膜的成分——如何得到所需要的膜成分  8.3 附着强度——如何提高膜层的附着强度  8.4 台阶涂敷,绕射着膜率,孔底涂敷——如何在大凹凸表面沉积厚度均匀的膜层  8.5 等离子体及其在薄膜沉积中的作用——膜质的改善、新技术的开发  8.6 基板的传输机构  8.7 膜层中的针孔和超净工作间 第9章 真空蒸镀  9.1 概述  9.2 镀料的蒸发  9.3 蒸发源  9.4 蒸发源的蒸气发射特性与基板配置  9.5 蒸镀装置及操作  9.6 合金膜的蒸镀  9.7 化合物膜的蒸镀  9.8 脉冲激光熔射(PLA)  9.9 分子束外延技术 第10章 离子镀和离子束沉积  10.1 离子镀的原理  10.2 离子镀的类型及特点  10.3 离子束沉积  10.4 离子束混合 第11章 溅射镀膜  11.1 离子溅射  11.2 溅射镀膜方式  11.3 磁控溅射源  11.4 溅射镀膜的实例 第12章 化学气相沉积(CVD)  12.1 热氧化、氮化  12.2 热CVD  12.3 等离子体CVD(PCVD)  12.4 光CVD(photo CVD)  12.5 有机金属CVD(MOCVD)  12.6 金属CVD585  12.7 半球形晶粒多晶SiCVD(HSGCVD)  12.8 铁电体的CVD  12.9 低介电常数薄膜的CVD 第13章 干法刻蚀  13.1 干法刻蚀与湿法刻蚀  13.2 等离子体刻蚀——激发反应气体刻蚀  13.3 反应离子刻蚀(RIE)  13.4 反应离子束刻蚀(RIBE)  13.5 气体离化团束(GCIB)加工技术  13.6 微机械加工  13.7 干法刻蚀用离子源的开发 第14章 平坦化技术  14.1 平坦化技术的必要性  14.2 平坦化技术概要  14.3 不发生凹凸的薄膜生长  14.4 沉积同时进行加工防止凹凸发生的薄膜生长  14.5 薄膜生长后经再加工实现平坦化  14.6 埋入技术实例  14.7 化学机械研磨(CMP)技术  14.8 气体离化团束(GCIB)加工平坦化  14.9 镶嵌法布线及平坦化  14.10 平坦化技术与光刻制版术 第15章 薄膜材料  15.1 金属薄膜材料  15.2 无机、陶瓷薄膜材料  15.3 有机、聚合物薄膜材料  15.4 半导体薄膜材料 第16章 薄膜材料的应用  16.1 表面改性  16.2 超硬膜用于切削刀具  16.3 能量变换薄膜与器件  16.4 传感器  16.5 半导体器件  16.6 记录与存储  16.7 平板显示器  16.8 金刚石薄膜的应用  16.9 太阳能电池  16.10 发光器件 第17章 薄膜材料的评价表征及物性测定  17.1 薄膜材料评价表征的特殊性  17.2 薄膜材料评价表征方法及其选择  17.3 薄膜材料的评价表征  17.4 相关技术和装置  17.5 薄膜材料评价表征举例  17.6 薄膜材料的物性测定 附录A 各种元素的温度—蒸气压特性 附录B 元素的电离电位 附录C 物理常数表 附录D(新旧)常用计量单位对照与换算 附录E 能量换算表、压力换算表及气体的性质表 附录F 半导体大规模集成电路的发展预测 附录G 示屏的图像分辨率等级、图像分辨率(像素数)和宽高比 附录H 元素周期表 附录I 薄膜技术与薄膜材料领域常用缩略语注释 参考文献
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田教授的这本著作我正在学习中,买回来快一年啊,到现在还没有看完,书写的不错,就是里面都写了一个大概,没有去深究,对初学者有相当大的帮助
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呵呵,,我有一本田老师的数,,,写的很不错
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支持一下田老师。
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清华大学优秀专家。
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150 有点贵了,我们班买的105
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学习
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薄膜技术与薄膜材料 买了,还没有看完
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He is a wonderful professor, write very good books
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认同, 感觉很不错.
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