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[离子镀] 关于AlCrN和AlTiSiN的靶材比例 [复制链接]

fanyushan
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浮华寄子

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t T
发表于 2012-01-30 12:34 |只看楼主
各位好，在电弧做AlCrN时，AlCr靶材的比例是多少？另外，做掺Si的AlTiSiN时,靶材比例是多少？在线等高手
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topup
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t T
发表于 2012-02-04 23:18 |只看该用户

AlTi:50/50,,,,67/33 at%  AlCr:50/50,60/40比较常见，看你具体用途

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    fanyushan
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    浮华寄子

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    发表于 2012-02-05 12:49 |只看楼主

    回复 2楼topup的帖子

    电弧做AlTiSi时，si和al做成合金靶，还是和ti做成合金靶好，比例又该是多少？
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    anet
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    发表于 2012-02-09 14:22 |只看该用户

    回复 3楼fanyushan的帖子

    AlTiSi,的比例是可以定制的,目前使用的比例60/34/6,和60/30/10的比较多,国内用这个材料的还比较少,成本比AlTi来做的话 要稍微高些

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