Reflection High Energy Electron Diffraction 以高能电子为探束(10-30keV)，穿透深度和非弹性散射自由程都比较大，表面信息灵敏都比较低，因此采用掠入射的办法，掠射角小于5 度。由于入射电子能量非常高，相应的Ewald球半径就非常大，其球结构近乎于平坦，以至于与倒易杆相切，形成的不是衍射点，而是条纹。利用RHEED 分析时，样品的制备要求经过抛光，如果表面粗糙，凸起部分挡住了气体部分而产生衍射，得到了一系列的衍射点。由于RHEED对表面形貌的敏感，经常用于MBE过程的检测。
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