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薄膜厚度测量方法 [复制链接]

coatingdata
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1#
t T
发表于 2009-03-27 20:27 |只看楼主
1、测量原理 2、样品要求 3、测厚范围 4、精确度

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    coatingdata团队
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    Coatingtech
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    coatingdata团队

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    2#
    t T
    发表于 2009-03-27 20:36 |只看该用户

    我刚把这些方法都大略的看过了，做了个笔记总结
    擅长领域：MOCVD,ALD,PLD等薄膜制备技术工艺开发，关注领域LED外延工艺技术与芯片制程技术，MO源合成技术，多晶陶瓷靶材制备技术，热电材料的研究与开发。
    欢迎大家加入论坛与我们交流薄膜技术。
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    coatingdata
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    3#
    t T
    发表于 2009-03-27 20:41 |只看楼主

    回复 1# coatingdata 的帖子

    1、SEM/TEM，直接测量 2、样品必须制备成截面的，最好是对接膜的！ 3、一般SEM的测厚范围为几百nm到微米量级，而TEM的测厚范围是几十nm到微米 4、精确度不好评测，和放大倍数有关！要比较厚度，最好放大倍数一致。
    coatingdata团队
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    4#
    t T
    发表于 2009-03-28 20:54 |只看该用户

    SEM的分辨率几个纳米。
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    estelle
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    t T
    发表于 2009-04-03 17:07 |只看该用户

    回复 2# wudong863 的帖子

    总结在哪里啊？
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    estelle
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    6#
    t T
    发表于 2009-04-03 17:08 |只看该用户

    回复 3# coatingdata 的帖子

    破坏性测量， 不好
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    jiayunfei26
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    t T
    发表于 2009-06-27 21:40 |只看该用户

    回复 1# coatingdata 的帖子

    谢谢楼主，辛苦
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    jiayunfei26
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    t T
    发表于 2009-06-28 09:56 |只看该用户

    回复 1# coatingdata 的帖子

    谢谢楼主，学习了
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    yupo54
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    t T
    发表于 2009-07-01 09:12 |只看该用户

    介绍一下好不好啊
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    zhanghuacan
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    t T
    发表于 2009-07-19 00:37 |只看该用户

    谢谢楼主，学习了
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    幕雨
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    t T
    发表于 2009-07-28 19:20 |只看该用户

    谢谢楼主，帮顶了
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    liu8209
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    t T
    发表于 2009-08-22 15:24 |只看该用户

    回复 3# coatingdata 的帖子

    我们常讲的薄膜厚度一般在10埃到100微米之间。它们在工业上的用途非常广。它们的制程也有多种。薄膜必须拥有适当的厚度，组成，粗糙度，及别的特性才能起到它应有的功用。我这里简单介绍两种薄膜厚度和光学特性的检测方法。 光学检测技术通过测量薄膜与光发生的相互作用来确定它的特性。光学技术可以测量薄膜厚度，表面粗糙度，和光学常数。光学常数（折射率 n 和消光系数 k）则是用来描述光在一个材料内的传播和在材料界面上的反射。 薄膜检测方法中的首选应该是光学测量技术。因为它们既准确无损，而且不需要花大量时间来准备样品。两种最常见的光学测量技术是光谱反射仪和椭偏仪。 光谱反射仪通过测量在一定波长范围内垂直光反射的强弱。椭偏仪也很类似。只是它的入射光和反射光都与样品表面不垂直。并且用两个偏光。一般来讲光谱反射仪比椭偏仪要简单和便宜。并且容易操作，维修简单。特别是在线测量时光谱反射仪更能显示出它的优势。 在绝大多数薄膜测量情况下光谱反射仪和椭偏仪都可以测量厚度，表面粗糙度，和多种薄膜的光学常数。只有在薄膜特别薄（<3nm）或者结构层次特别复杂的情况下你就只好花大钱来买椭偏仪用了。 以上内容主要来自Filmetrics 公司的《薄膜测量的解密》。请直接到公司网站索取更详细的资料: http://www.filmetricsinc.cn.
    最后编辑liu8209 最后编辑于 2009-08-22 15:38:29
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    huoshan521
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    13#
    t T
    发表于 2009-08-22 16:54 |只看该用户

    学习了！ 谢谢
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    dan
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    t T
    发表于 2009-08-27 12:58 |只看该用户

    又学到不少知识了；
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    zwq955
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    t T
    发表于 2009-09-07 13:58 |只看该用户

    谢谢楼主，辛苦
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    wolfliu
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    16#
    t T
    发表于 2009-09-07 15:59 |只看该用户

    椭偏仪这是一个很不错的东东
    QQ：67330418
    Email：wolf.liuf@163.com
    求真务实！
    不以求备取人，不以己长格物!
    黜虚名以求实效，存实绩而图奋进。
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    huoshan521
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    17#
    t T
    发表于 2009-09-07 22:55 |只看该用户

    镀膜中可以用晶振片测量，利用晶体传感器来测量薄膜厚度，也可以用光学测量的方法，测量透过 镀膜后好像只可以用光学测量（非破坏性测量）
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    bata178
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    t T
    发表于 2009-09-15 09:09 |只看该用户

    台阶仪也可以测膜厚 原理类似于原子力显微镜，不过没有那么精密，通过扫描界面的高低（台阶）差来确定膜厚，所以需要一个无膜区来对比，算是破坏性测量。如果台阶明显，其精度很高，而且不需要知道材料的光学常数。 还有一种和台阶仪的原理类似，不过是通过对比不同高度界面的反射光来确定膜厚，也需要有个鲜明的‘台阶’，精度好像不如上面所的光谱反射仪，可能主要用于较厚膜的测量。

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      mountain
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      t T
      发表于 2009-09-30 10:43 |只看该用户

      我们常用台阶仪测厚度
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      ohyeahbaby
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      t T
      发表于 2009-10-01 19:06 |只看该用户

      有关于这方面的资料么，能学习一下吧
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      殘餘人生
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      21#
      t T
      发表于 2009-10-01 23:34 |只看该用户

      总结在哪里啊？
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      Bean
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      t T
      发表于 2009-11-10 18:12 |只看该用户

      推荐一个叫NKD薄膜分析仪的仪器 与椭偏仪类似，但是比椭偏仪便宜、简单 在同一个光斑处，同时对透过光谱和发射光谱进行测定，保证了两套数据具有直接的相关性。通过测定这些光谱，全自动的控制和分析软件系统可以从中得到n、k和d值。而且所有这些都源自同一次测定。 可以测至多5层的薄膜，薄膜厚度范围是5nm到20um，对样品基本没有要求，透明的、半透明的或半吸收的、以及半导体都可以测量
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      新手tuibian
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      t T
      发表于 2009-11-18 19:08 |只看该用户

      。。。。。。。。。。。。。VSM
      既然选择了远方，就只顾风雨兼程！
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      polarized
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      t T
      发表于 2009-12-05 09:47 |只看该用户

      1. 台阶仪。 精度一般，爬坡测量更好一些。 2. 椭偏测量法。 精确度高，一般先用台阶仪粗测一下，再用椭偏仪拟合。 3. 透射光谱或者反射光谱包络线法。 简便易行。
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      t T
      发表于 2009-12-15 21:09 |只看该用户

      学习了，很不错！谢谢！
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      xunsimihuo
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      t T
      发表于 2010-01-11 10:47 |只看该用户

      感觉像标题党？不好意思哦楼主，我实在没看到什么特别的东西
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      zihannjuberry
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      t T
      发表于 2010-01-12 15:53 |只看该用户

      我也没有看到很多东西
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      catchtheday
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      t T
      发表于 2010-01-13 19:04 |只看该用户

      椭偏仪并不好用，跟拟合模型有关。比如薄膜表面有无粗糙层，薄膜和衬底之间有无渗透层，很难说有还是没有。
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      Anybobo
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      t T
      发表于 2010-01-31 13:11 |只看该用户

      学到不少东西。
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      super_zu
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      东四十条

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      t T
      发表于 2010-02-08 22:28 |只看该用户

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