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抛砖引玉---PECVD Mechanism [复制链接]

Vincent
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唐朝

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1#
t T
发表于 2009-06-12 16:46 |只看楼主
祝贺新版开张，小弟不才，暂居版主之列，自当尽己所能，为论坛发展尽绵薄之力。也希望借这个机会认识更多的朋友，引来有识之士。送上一份介绍PECVD原理的材料，希望能起到抛砖引玉的作用，除了资料的共享之外，积极的讨论也是对个人能力提升的重要途径了。 介于研究生经历以及工作的关系，对于硬质膜，半导体部分的ETCH , CVD有一知半解的认知，欢迎大家一起交流讨论.
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    From XJTU. Master in thin film area.
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    eagle8572
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    2#
    t T
    发表于 2009-06-12 21:26 |只看该用户

    恭喜恭喜 你是做PECVD的吗？ 是做哪方面的？
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    ciomp1312
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    3#
    t T
    发表于 2009-06-13 10:40 |只看该用户

    好东西 学习学习
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    Vincent
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    唐朝

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    4#
    t T
    发表于 2009-06-14 18:05 |只看楼主

    回复 2# eagle8572 的帖子

    现在是做半导体方面的，PECVD,SACVD之类的都做。之前硬质膜部分的也做过一段时间，呵呵。你是做太阳能的吧？
    From XJTU. Master in thin film area.
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    Coatingtech
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    5#
    t T
    发表于 2009-06-16 21:31 |只看该用户

    我来支持一下。多谢分享资料
    擅长领域：MOCVD,ALD,PLD等薄膜制备技术工艺开发，关注领域LED外延工艺技术与芯片制程技术，MO源合成技术，多晶陶瓷靶材制备技术，热电材料的研究与开发。
    欢迎大家加入论坛与我们交流薄膜技术。
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    zhanghuacan
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    6#
    t T
    发表于 2009-07-19 00:46 |只看该用户

    我也来支持一下。多谢分享资料
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    铿锵玫瑰
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    t T
    发表于 2009-07-24 23:16 |只看该用户

    楼主辛苦了，多谢分享！
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    tonyjiang216
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    t T
    发表于 2009-08-07 22:12 |只看该用户

    多谢楼主分享，下来看看
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    tonyjiang216
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    t T
    发表于 2009-08-07 22:14 |只看该用户

    一片文章下不下来，为什么还要重复扣分呢？
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    wjh1026
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    t T
    发表于 2009-10-12 10:59 |只看该用户

    学习一下 谢谢
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    tonyjiang216
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    t T
    发表于 2009-10-13 16:59 |只看该用户

    鼎力支持！

    坛子里人气是越来越旺了！
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    asfizh
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    t T
    发表于 2009-11-06 10:41 |只看该用户

    。。

    曾经偶也是做PECVD的，不过现在没有了， 研究生时搞磁性薄膜，毕业后搞TFT-LCD array这块的CVD，现在瞎搞
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    Vincent
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    唐朝

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    t T
    发表于 2009-11-08 19:31 |只看楼主

    回复 12# asfizh 的帖子

    我有个朋友现在转去做LED了
    From XJTU. Master in thin film area.
    Working in SMIC LTD CVD.
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    r_p
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    t T
    发表于 2009-11-08 21:35 |只看该用户

    看看啦
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    qudan19851215
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    t T
    发表于 2010-01-08 21:16 |只看该用户

    PECVD多多指教大家
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    gr800322
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    t T
    发表于 2010-03-27 10:12 |只看该用户

    了解下             谢谢
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    Lyricpoet
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    t T
    发表于 2010-09-20 19:41 |只看该用户

    ｇｏｏｄ　。楼主真强人也
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    yyh2010
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    t T
    发表于 2010-09-20 21:07 |只看该用户

    kjh

    学习顶顶顶顶顶顶许热系
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    vvxd
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    t T
    发表于 2010-09-22 21:42 |只看该用户

    多谢楼主分享，下来看看
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    mdjeam
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    t T
    发表于 2011-01-27 08:57 |只看该用户

    thanks a lot for your sharing.....
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    niubuhui
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    t T
    发表于 2011-05-14 13:03 |只看该用户

    h学习一下，谢谢
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    feiyouying
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    t T
    发表于 2011-08-30 13:40 |只看该用户

    多谢楼主分享分享
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    boyuehuang
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    PECVD，PVD真空沉积设备

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    t T
    发表于 2012-03-13 13:27 |只看该用户

    学习下，为以后销售PECVD做准备啊

    美国PECVD(等离子增强化学气相沉积)系统能够沉积高质量SiN、SiO、SiO2薄膜、Si3N4 薄膜、非晶硅、碳化硅、太阳能材料、类金刚石、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等多种薄膜材料 和炭纳米管(CNT)等。可选用射频(RF)、空阴极高密度等离子体(HCD)源、感应耦合等离子体(ICP)源。该公司采用先进技术和稳定可靠的设计为您提供多方位的服务。





    铂悦仪器（上海）有限公司
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