一台溅射镀膜机完整的技术,简单提出个人浅见,原理上诸多涵盖
1).真空技术-
真空原理-自己看书及相关资料
真空元件-看书及从市场搜寻资料
应用以如何计算抽气速度时间到达所需真空压力,如何选配元件(pump,guage,valve..);
如何检测泄漏(检核压力回升率),如何持压等
腔体设计-。。。
2).溅射技术-
溅射原理-看书及相关厂商资料
常见种类-平面磁控溅射及圆柱靶磁控溅射
应用以如何计算沉积速率-被镀物的传送速度,Target distance(TS),靶材材质尺寸,Power 种类功率;
真空压力,反应气体....
靶源设计-...
3).电控系统-个人经验PLC以西门子系列最为稳定 ,功能强大
其他不及繁载,请大家再多贡献