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[真空设备自动化控制] 镀膜玻璃老是掉渣,是什么原因? [复制链接]

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我以前也遇到过这种情况哦,不过后来不知道怎么就好了
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我感觉是你那设备里面比较脏
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回复 12# n70se7en 的帖子

同意!纯为赚积分——什么叫掉渣嘛?不清不楚的。。。
Easy
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回复 30# mm4al 的帖子

和很多因素有关,优先次序为: 阴极设计>阳极设计>靶材>电源>温度>功率密度......
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应该是surrounding底板太脏造成,重新喷砂或做表面喷涂处理吧
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路过 学习学习
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没有做好表面处理。。。。。。。。。。。。。。。。
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腔体内脏

应该是腔体内脏了,应该到了保养 的时间了...
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维护保养有问题,再好的设备也需要及时保养。
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定期清洁腔体吧
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靶材中毒了吧 换新的
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清理腔室跟挡板
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描述不清楚,没办法帮你
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应该是靶上掉下来的 ,温度太高
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学习学习
真诚与你交流,真空蒸发镀膜,苏州工业园区,青剑湖
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呵呵,具体的生产问题,答案 有好多种啊,也不知道谁的正确
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清洗腔体吧,估计是脏了
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回复 1# junghh913 的帖子

谢谢楼主的大公无私……
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LZ最好说详细点
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磁控溅射的通病,需要定期清洗舱室
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新手学习中,嘻嘻
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呵呵,谢谢楼主的资料!
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问问题把问题描述仔细点,否则怎么帮忙
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