薄膜网技术论坛

注册

 

返回列表
发新话题 回复该主题
查看: 4169|回复: 29

[转帖]XPS数据分析基本过程(来自every day) [复制链接]

xiaogou
头像

  • 管理员
  • 893
  • 12
  • 19908
  • 4929
  • 2006-12-12
  • 2009-05-25
1#
t T
发表于 2006-12-26 16:27 |只看楼主
 

定性分析                             

首先扫描全谱，由于荷电存在使结合能升高，因此要通过C结合能289.6eV对全谱进行荷电校正，然后对感兴趣的元素扫描高分辨谱，将所得结果与标准图谱对照，由结合能确定元素种类，由化学位移确定元素得化学状态，为了是结果准确在每一次扫描得结果分别进行荷电校正。XPS谱图中化学位移的分析一般规律为：                         

1、原子失去价电子或因与电负性高的原子成键而显正电时，内层电子结合能升高。                         

2、原子获得电子而荷负电时，内层电子结合能减小。                         

3、氧化态越高，结合能越大。                         

4、价层发生某种变化时，所有内层电子化学位移相同                         。                         

5、对于XPS峰主量子数n小的壳层比n大的峰强，n相同的角量子数l大的峰强，n，l相同的j大的峰强。

定量分析                                 

选取最强峰的面积或强度作为定量计算的基础，多采用灵敏度因子法，因为各元素产生光电子时的含量强度和含量不一定成正比，从而利用灵敏度因子对强度进行修正，其做法为：以峰边、背景的切线交点为准扣除背景，计算峰面积或峰强，然后分别除以相应元素的灵敏度因子法，就可得到各元素的相对含量，这个相对含量是原子个数相对含量即摩尔相对含量。                             

XPS图谱的分峰处理                                 

由于在制备过程中外界条件不可能完全均匀一致，因而对于同一元素可能存在不同的化学态，而各化学态产生的峰又有可能相互重叠，这样就对定性、定量分析带来了不便，因而在进行数据分析时需要对可能存在重叠的峰进行分峰处理，目前有很多数据处理软件可以进行分峰运算，其原理都是利用高斯－洛沦兹函数，其中XPSpeak为一位台湾学者编写的程序，其采用图形用户界面（GUI），用于XPS分峰处理操作方便，简单易学。                             

XPSpeak运行后其界面为：                             

              

                                        

上面的窗口主要用于图形显示，即原始数据图谱、分离的峰、拟和的峰都将在此窗口中显示，在主菜单栏中Data中选择打开的数据类型，由于不同的设备输出的数据格式不同，所以一般需要将原始数据转换成Ascii格式；在进行分峰处理前需要扣除背景，在Background菜单中选择扣除背景的参数；在Add Peak菜单中选择增加峰的参数如峰位、峰面积、半峰宽等。设置扣除背景，增加峰的参数的窗口如下：                             
本主题由 管理员 xiaogou 于 2009-3-6 17:41:03 执行 移动主题 操作
分享 转发
TOP
xiaogou
头像

  • 管理员
  • 893
  • 12
  • 19908
  • 4929
  • 2006-12-12
  • 2009-05-25
2#
t T
发表于 2007-01-04 09:21 |只看楼主

文中提到的那个软件，我这有。那位用得着可以跟我联系。
TOP
heyanch
头像

  • 乞丐
  • 2
  • 0
  • -4
  • 32
  • 2007-01-06
  • 2010-04-19
3#
t T
发表于 2007-01-06 11:01 |只看该用户

能给我发一份吗？heyanch@163.com

3x
TOP
xiaogou
头像

  • 管理员
  • 893
  • 12
  • 19908
  • 4929
  • 2006-12-12
  • 2009-05-25
4#
t T
发表于 2007-01-07 20:34 |只看楼主

已经发了，查收吧
TOP
chemwss
头像

  • 新手上路
  • 1
  • 0
  • 112
  • 32
  • 2007-01-16
  • 2007-01-16
5#
t T
发表于 2007-01-16 15:21 |只看该用户

xiaogou:你好！

我也想要一份用用看，多谢了！

chemwss@sina.com             
TOP
xiaogou
头像

  • 管理员
  • 893
  • 12
  • 19908
  • 4929
  • 2006-12-12
  • 2009-05-25
6#
t T
发表于 2007-01-17 10:40 |只看楼主

发给你了，查收吧
TOP
wjwels
头像

  • 铜牌会员
  • 78
  • 0
  • 1904
  • 614
  • 2006-10-15
  • 2007-05-16
7#
t T
发表于 2007-01-22 20:33 |只看该用户

XPS谱的分峰也可以通过origin软件的peakfm模块来实现，但是一般的origin不带这个模块，使用的时候需要导入。这个模块使用时是向导式的，根据向导完成基线设定、基线扣除、峰位数和位置设定、峰位拟和等过程，完成分峰，得到峰位、峰面积、半峰宽等。操作比较简单。
TOP
xiaogou
头像

  • 管理员
  • 893
  • 12
  • 19908
  • 4929
  • 2006-12-12
  • 2009-05-25
8#
t T
发表于 2007-01-23 09:14 |只看楼主

我也用过这个peakfm模块来分峰，基本操作是很简单，但分出来的结果比较主观（个人认为），而且通常和XPSpeak得到的分峰结果不一致。建议大家用同一个分峰方法对数据进行处理比较。
TOP
wjwels
头像

  • 铜牌会员
  • 78
  • 0
  • 1904
  • 614
  • 2006-10-15
  • 2007-05-16
9#
t T
发表于 2007-01-23 13:07 |只看该用户

origin分峰是比较主观的。首先要分离出几个峰就比较主观，有时候分成2个、3个或4个峰都可以，它们拟和的结果都能够和实验的峰吻合，当然选几个峰很多时候都根据经验或者查xps的手册获得；其次好像基线可以有很多种选择，再次峰形函数也有好几种选择，最常用的就是高斯函数。所以我认为，origin的peakfm是一个很好的数学工具，对于实验数据分析的可靠性，还是要根据经验加以判断。可能在可靠性上，专业软件更好。
TOP
xiaogou
头像

  • 管理员
  • 893
  • 12
  • 19908
  • 4929
  • 2006-12-12
  • 2009-05-25
10#
t T
发表于 2007-01-23 16:22 |只看楼主

有道理!要是对一个东西进行了长期的研究，积累了经验，分峰能得到比较可靠的结果。要是对一个东西紧紧依赖于软件，是很难得到可靠结果的。就同一个图，可能分出很多不同的结果，所以分峰的时候大家千万要注意！
TOP
muyangren118
头像

  • 银牌会员
  • 366
  • 0
  • 4624
  • 71
  • 2008-10-16
  • 2011-07-20
Medal No.6
11#
t T
发表于 2009-01-18 17:03 |只看该用户

好像有自动分谱的软件，不过信号强度弱就不是很好用了
TOP
nicesummer
头像

  • 新手上路
  • 1
  • 0
  • 3
  • 0
  • 2009-04-01
  • 2009-04-01
12#
t T
发表于 2009-04-01 16:08 |只看该用户

楼主你好，我想要一份XPSpeak软件，我的邮箱： nicesummer@yeah.net
TOP
estelle
头像

  • 版主
  • 100
  • 0
  • 939
  • 108
  • 2009-04-02
  • 2010-11-23
13#
t T
发表于 2009-04-03 16:50 |只看该用户

楼主可以给我发一份软件吗？我的email是phiscan@gmail.com 多谢。
TOP
worm99
头像

  • 乞丐
  • 2
  • 0
  • -2
  • 0
  • 2009-04-10
  • 2009-04-15
14#
t T
发表于 2009-04-10 16:49 |只看该用户

回复 1# xiaogou 的帖子

我想要一份，邮箱liuwanfeng@semi.ac.cn
TOP
zhenxingbi
头像

  • 乞丐
  • 12
  • 0
  • -3
  • 0
  • 2009-04-14
  • 2009-04-14
15#
t T
发表于 2009-04-14 12:08 |只看该用户

semi。ac是哪里？
TOP
zwq955
头像

  • 乞丐
  • 21
  • 0
  • -1
  • 0
  • 2009-09-07
  • 2009-09-07
16#
t T
发表于 2009-09-07 14:19 |只看该用户

回复 2# xiaogou 的帖子

发给我一份那个软件吧 谢谢你了 zwq955@163.com
TOP
sfasaf
头像

  • 乞丐
  • 1
  • 0
  • -5
  • 0
  • 2009-09-19
  • 2009-09-19
17#
t T
发表于 2009-09-19 14:03 |只看该用户

niuzhen

大哥，能不能给我发份课件，我向大哥学习学习，万分感谢！ [email]niuzhencrazy@sina.com[/email]
TOP
xuchao
头像

  • 高级会员
  • 78
  • 0
  • 699
  • 0
  • 2009-09-07
  • 2012-05-17
18#
t T
发表于 2009-09-19 16:03 |只看该用户

楼主你好，也给发一份吧，学习学习， email:xuchao-100@163.com.多谢了!
TOP
殘餘人生
头像

  • 中级会员
  • 2471
  • 0
  • 308
  • 0
  • 2009-09-14
  • 2012-01-04
Medal No.4
19#
t T
发表于 2009-09-19 17:13 |只看该用户

xiaogou:你好！ 我也想要一份用用看，多谢了！ [email]william520g@gmail.com[/email]
TOP
super_zu
头像

东四十条

  • 超级版主
  • 184
  • 1
  • 960
  • 250
  • 2009-09-18
  • 2012-05-10
20#
t T
发表于 2009-09-20 13:11 |只看该用户

回复 1# xiaogou 的帖子

xiaogou：你好，这个帖子挺有用的 还有就是我也想要一份看看，谢谢啦 email：runshenxu@hotmail.com
TOP
coatingdata
头像

  • 管理员
  • 1046
  • 2
  • 18940
  • 116
  • 2008-10-10
  • 2010-02-01
21#
t T
发表于 2009-09-22 08:32 |只看该用户

大家都去论坛这个帖子里下吧! http://bbs.coatingdata.com/showtopic-5248.aspx
coatingdata团队
TOP
gongchengpeng
头像

  • 乞丐
  • 8
  • 0
  • -6
  • 0
  • 2009-09-22
  • 2009-09-22
22#
t T
发表于 2009-09-22 18:33 |只看该用户

回复 1# xiaogou 的帖子

好东西、有用，记下了
TOP
2350104
头像

  • 中级会员
  • 98
  • 0
  • 559
  • 0
  • 2009-04-16
  • 2010-12-18
23#
t T
发表于 2009-09-29 09:28 |只看该用户

楼主你好，我想要一份XPSpeak软件，我的邮箱：2350104@163.com
TOP
sunqin
头像

  • 中级会员
  • 11
  • 0
  • 383
  • 0
  • 2009-12-01
  • 2010-02-01
24#
t T
发表于 2009-12-01 13:04 |只看该用户

楼主你好，麻烦给我发份这个软件 谢谢 我现在用的3.1的版本，出毛病了，怎么调都用不了了
TOP
sunqin
头像

  • 中级会员
  • 11
  • 0
  • 383
  • 0
  • 2009-12-01
  • 2010-02-01
25#
t T
发表于 2009-12-01 13:14 |只看该用户

忘记写邮箱了，晕了 [email]doraamong19840428@yahoo.cn[/email] 谢谢谢谢
TOP
whulsz
头像

  • 乞丐
  • 5
  • 0
  • -3
  • 0
  • 2009-12-12
  • 2009-12-14
26#
t T
发表于 2009-12-12 21:03 |只看该用户

楼主你好，我想要一份XPSpeak软件，我的邮箱： [email]origen2003@126.com[/email] 谢谢！
TOP
duckaaa
头像

  • 高级会员
  • 175
  • 0
  • 1339
  • 0
  • 2009-12-21
  • 2010-08-08
27#
t T
发表于 2010-01-18 00:02 |只看该用户

貌似我吧坟给翻出来了 不过还是很有用的贴子啦 XPSPEAK用不熟   还需要多多研究它 哎
不能贴图片郁闷啊!
TOP
yangzk123
头像

  • 新手上路
  • 73
  • 0
  • 8
  • 0
  • 2009-06-28
  • 2011-01-08
28#
t T
发表于 2010-06-20 02:55 |只看该用户

不太行吧？？？？？？？？？？？？
TOP
zhaiyuto
头像

  • 乞丐
  • 110
  • 0
  • -7
  • 0
  • 2010-11-10
  • 2011-11-01
29#
t T
发表于 2010-11-30 16:21 |只看该用户

钛好啊

很强大的东西，我分享啊
TOP
aohandong
头像

  • 注册会员
  • 147
  • 0
  • 61
  • 0
  • 2010-12-08
  • 2011-06-28
30#
t T
发表于 2011-05-10 15:48 |只看该用户

这么火啊 还是要顶一顶的
TOP
上一主题| 下一主题
返回列表
发新话题 回复该主题
高级编辑器高级编辑器