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Si片的清洗和处理方法--去除氧化层 [复制链接]

wjwels
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t T
发表于 2006-12-27 22:10 |只看楼主
Si上外延生长薄膜通常上面的一层SiO2的去除非常关键，而完全的消除其影响是不可能的，我们只能减小其影响。方法如下：
1。基片清洗：除常规的酒精丙酮去离子水超声外，还要用到双氧水+盐酸和双氧水+氨水的两种酸碱溶液，此外稀释的氢氟酸中浸泡几秒钟可以有效的去除SiO2层。
2。真空热处理：Si片高真空下2小时500度左右退火，有效减少SiO2.
文献中有报道，参考之。
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QcFilm
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t T
发表于 2006-12-27 22:22 |只看该用户

对于一般的衬底，清洗分为三部分：a）丙酮超声清洗5分钟；b）无水乙醇超声清洗5分钟；c）去离子水中超声清洗5分钟。
然后在热板（约120℃）上烘烤约10分钟。
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xiaogou
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3#
t T
发表于 2006-12-28 14:13 |只看该用户

为了提高膜与钢等金属材料基体的结合力，通常还可以在真空室中，使用载能离子溅射清洗。
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jover
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t T
发表于 2008-03-25 21:44 |只看该用户

薄膜材料物理
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hcy-joctech
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t T
发表于 2008-06-24 17:05 |只看该用户

谢谢，指教。
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guxieqing
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t T
发表于 2008-08-20 09:33 |只看该用户

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yuqi
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t T
发表于 2008-10-20 16:39 |只看该用户

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wavedong
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t T
发表于 2008-10-28 22:39 |只看该用户

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t T
发表于 2008-12-17 11:28 |只看该用户

[em02]

thanks for sharing
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fineday36
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t T
发表于 2008-12-28 16:01 |只看该用户

thank you for you sharing ,i really appreciate your kindness
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tribology
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t T
发表于 2008-12-29 14:18 |只看该用户

谢谢分享！！希望多发一些具有基础知识的帖子，对我们这些刚入门的比较有用
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puppy
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t T
发表于 2009-01-04 13:24 |只看该用户

不太同意二楼的观点，第2、3是不是调换一下更好啊
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nano
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发表于 2009-04-18 20:55 |只看该用户

很详细，值得参考
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muyangren118
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t T
发表于 2009-05-25 18:54 |只看该用户

非常感谢分享！
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jianbang
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发表于 2009-06-08 09:14 |只看该用户

谢谢大家的分享，还有没有其它基体清洗方法
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wukeyue
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发表于 2009-06-16 23:34 |只看该用户

THANK YOU VERY MUCH
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发表于 2009-08-12 20:03 |只看该用户

大家是应该多交流交流啊
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huoshan521
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t T
发表于 2009-08-22 16:00 |只看该用户

对于滤光片怎么处理啊？
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solgeltech
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发表于 2009-08-27 12:09 |只看该用户

浓硫酸 双氧水 煮就行了
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fanxiaojun
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t T
发表于 2009-11-03 14:37 |只看该用户

对于一般的衬底，清洗分为三部分：a）丙酮超声清洗5分钟；b）无水乙醇超声清洗5分钟；c）去离子水中超声清洗5分钟。 然后在热板（约120℃）上烘烤约10分钟。
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水中绿洲
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水中绿洲

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发表于 2009-11-10 15:55 |只看该用户

一般 用超声波吧 呵呵
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tjuzxw
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发表于 2009-11-10 23:17 |只看该用户

大部分还是靠超声波来清洗的。最后加热烘烤不知道是什么原因？
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tjuzxw
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t T
发表于 2010-01-19 19:13 |只看该用户

主要还是用丙酮和酒精进行超声清洗，当然有离子溅射清洗更好。
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lit_cai
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t T
发表于 2010-01-19 19:49 |只看该用户

谢谢，非常实用!!
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殘餘人生
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发表于 2010-01-20 09:31 |只看该用户

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jlw
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t T
发表于 2010-03-05 11:12 |只看该用户

学习!!!! !!!!!!!
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huixiumei
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t T
发表于 2010-03-12 10:15 |只看该用户

学习了，谢谢
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blackspace
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t T
发表于 2010-04-06 09:01 |只看该用户

恩   希望大家多发这样的帖子  受益匪浅
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abc800616
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t T
发表于 2010-04-23 10:45 |只看该用户

回复 9# 人随风 的帖子

学习了，谢谢大家
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dq3716
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t T
发表于 2010-05-10 11:35 |只看该用户

学习了，谢谢大家!!!   有个问题，要是我在衬底上镀了一层金属膜，然后我还要在层金属膜上再镀别的膜，在第二次镀之前，衬底还是需要清洗（衬底转移过程中会被污染）。问题：一开始镀的金属膜 与基体结合不是很好，超声会剥落，有什么办法 可以解决吗？？？谢谢了！！！
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