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[真空水路及气路]
快速接头漏水
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2009-12-01 10:11
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镀膜机组分子泵的冷却水饿快速接头漏水,流了单元体了!吓死了!我以为漏到腔室里去呢~不会对密封什么的产生影响吧?
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2009-12-01 11:32
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漏水?漏水的话应该对分子泵冷却好坏有影响,进而会影响分子泵的抽气性能,最终会对真空度有影响
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漏水就要搞好呢,否则会出事故的。将快速接头换一个就OK了,只要冷却效果不错就可以。那边的水其实需要很小流量就可以
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谢谢两位老大,刚入行不久,没见过的事情太多了!多少有点怕!
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没事,换换就OK了。和真空不是一个系统。
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