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薄膜XRD与普通的XRD [复制链接]

Joeyu
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t T
发表于 2006-12-28 10:08 |只看楼主

请问：薄膜XRD与普通的XRD有什么区别？薄膜样品可以作普通的XRD吗？这样作有什么弊端吗？

          谢谢！
本主题由 管理员 xiaogou 于 2009-3-9 21:22:49 执行 主题置顶/取消 操作
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xiaogou
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t T
发表于 2006-12-28 14:10 |只看该用户

薄膜样品当然可以做普通XRD，如果薄膜样品比较厚，在微米尺寸的话，基本上普通XRD就可以胜任了；但如果薄膜样品比较薄，在纳米量级，做普通XRD可能只得到基体的信息。因为薄膜部分被X射线照射的区域太小，自然强度就低了，直至被背地淹没。这个时候就只能选择掠入射XRD，因为入射角度小，使得尽可能多的薄膜区域被X射线照射，而参与衍射，这样就能得到薄膜的信息了。/

欢迎大家继续补充！
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phoenixking
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t T
发表于 2007-12-01 18:18 |只看该用户

zan

zan
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dashan_2000
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t T
发表于 2008-10-19 10:40 |只看该用户

好
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jlsdwlxsc
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t T
发表于 2008-11-12 23:19 |只看该用户

多晶XRD衍射（尤其是粉末样品）可以看到所有衍射峰，但薄膜样品的可能存在择优取向，因此可能看到部分峰。
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fankj660
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6#
t T
发表于 2008-12-03 09:47 |只看该用户

2楼，200纳米左右算不算纳米量级？
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xiaogou
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7#
t T
发表于 2008-12-03 11:08 |只看该用户

我个人觉得可以算了，这个纳米和微米的分解本来就是模糊地，不同的领域也不完全一样。
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xn
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8#
t T
发表于 2008-12-12 16:53 |只看该用户

如果薄膜存在织构，30nm以上，用普通的XRD也是可以的
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flashxu0119
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t T
发表于 2008-12-17 14:10 |只看该用户

一般情况下薄膜样品的晶化温度低一些
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东子
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t T
发表于 2008-12-17 21:41 |只看该用户

晶化温度低和XRD有什么关系啊
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wfbgc
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t T
发表于 2009-01-13 16:27 |只看该用户

原帖由 fankj660 于 2008-12-3 9:47:00 发表 2楼，200纳米左右算不算纳米量级？
当然可以认为是纳米级的，这种厚度的薄膜，最好采用掠射XRD，除非你的样品结晶性非常好，否则很难测出好的结果。
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Coatingtech
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t T
发表于 2009-02-10 18:42 |只看该用户

好的单晶膜，衍射峰超强的
擅长领域：MOCVD,ALD,PLD等薄膜制备技术工艺开发，关注领域LED外延工艺技术与芯片制程技术，MO源合成技术，多晶陶瓷靶材制备技术，热电材料的研究与开发。
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t T
发表于 2009-04-26 18:28 |只看该用户

但是气相沉积，尤其是PVD制备的薄膜通常非晶或纳米晶的居多，单晶的很少。因此，很多人退火后，再测XRD。
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elles
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t T
发表于 2009-06-09 22:26 |只看该用户

那么是不是在人们常说的计算晶粒尺寸的XRD检测中没有说明的话都用的常规扫描而不是掠射角扫描方法？
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telescope
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犟拐拐

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t T
发表于 2009-06-30 11:25 |只看该用户

回复 14# elles 的帖子

这个问题我也想请教一下，呵呵
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fanyushan
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浮华寄子

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发表于 2009-09-10 10:26 |只看该用户

回复 14# elles 的帖子

用xrd测晶粒时，样品大多是块状的。薄膜大多是柱状晶（也有例外）或无定形状态， 所以薄膜几乎没有测晶粒大小的，一般是通过SEM看一下样品截面晶粒生长的形状和尺度
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石头
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发表于 2009-11-17 16:02 |只看该用户

学习了，需要继续了解
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发表于 2010-04-17 09:09 |只看该用户

不错啊
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发表于 2010-09-16 13:00 |只看该用户

我这做的薄膜很多在300nm左右的，用基本的XRD就行，因为存在择优取向问题，所以能出的峰确实很少，几条甚至一条，做得好的话会比较明显，另外退火之后峰会变多
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wolfliu
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t T
发表于 2010-09-16 13:44 |只看该用户

还要看你的薄膜材料的种类哟
QQ：67330418
Email：wolf.liuf@163.com
求真务实！
不以求备取人，不以己长格物!
黜虚名以求实效，存实绩而图奋进。
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chinalczm
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t T
发表于 2010-09-16 14:39 |只看该用户

都是强人啊，我得多加向各位学习呢，我是刚刚上路。
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hulingzy
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t T
发表于 2010-11-09 16:24 |只看该用户

普通XRD可以测薄膜的择优取向
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发表于 2011-01-24 12:18 |只看该用户

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发表于 2011-12-01 21:24 |只看该用户

回复 13楼coatingdata的帖子 退火之后薄膜的组织结构肯定改变了啊，这可不是镀膜工艺制备的薄膜了，检测的成了退火后的组织，这样能行么
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