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[离子束] 镀膜速率对薄膜微观结构及晶粒尺度的影响

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2010-03-09 22:27 | 只看楼主 树型| 收藏| 小中大 1^#

镀膜速率对薄膜微观结构及晶粒尺度的影响

最近看到一篇美国人的文献，采用电子束镀金属薄膜，任务沉积速率对薄膜的微观结构和晶粒度没有
大的影响，不知哪位大侠做过这方面的研究，能说说你们的看法吗

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2010-03-12 14:49 树型| 收藏| 小中大 2^#

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