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[离子束] 镀膜速率对薄膜微观结构及晶粒尺度的影响 [复制链接]

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最近看到一篇美国人的文献,采用电子束镀金属薄膜,任务沉积速率对薄膜的微观结构和晶粒度没有 大的影响,不知哪位大侠做过这方面的研究,能说说你们的看法吗
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