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底衬的粗糙度对成膜有什么样的影响 [复制链接]

tianwen22
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t T
发表于 2010-03-09 22:45 |只看楼主
底衬的粗糙度对成膜有什么样的影响？ 如果表面太光滑，是否会对膜与底衬的结合力造成不好的影响
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kxy1939
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t T
发表于 2010-03-10 08:21 |只看该用户

衬底的粗糙度在一定程度上决定了膜表面的粗糙度，若衬底凸凹不平或有大的颗粒存在，则膜在相应的位置也将出现相应的状况，而且膜基结合力也将不好。至于基片表面光滑对膜基结合力的影响，我个人为应该没什么，膜基结合力主要是膜与基片在晶格上的适配度吧
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super_zu
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东四十条

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t T
发表于 2010-03-10 11:06 |只看该用户

不同的镀膜方法影响不同，用的precursor和手段不同，会导致不同结果，大体上说，物理沉积法会延续粗糙度，而化学沉积法有可能使薄膜趋于平滑 薄膜脱落主要是由晶格大小不同而产生的应力造成的，也就是上下两层不同薄膜间应力 当然，具体问题还要具体分析
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tianwen22
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t T
发表于 2010-03-10 22:30 |只看楼主

谢谢大侠们，我开始直观认为的是底衬粗糙度高的和膜的结合力会好些，因为摩擦系数高， 如果表面太光滑，摩擦系数低，薄膜结合不牢。 现在学习来，PVD薄膜与底衬间的结合力主要是晶格匹配问题，是不是两者晶粒取向比较一致，晶格参数比较接近，空间群比较相似（有相似的晶体结构），结合力就会好些
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super_zu
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东四十条

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t T
发表于 2010-03-10 22:48 |只看该用户

回复 4# tianwen22 的帖子

这个主要跟粗糙度关系不大， 你下面说的那个，大体上是，但是具体问题可能有区别
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殘餘人生
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Medal No.4
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t T
发表于 2010-03-12 14:53 |只看该用户

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mahaihan
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t T
发表于 2010-04-02 11:25 |只看该用户

表面粗糙可能会是形成的薄膜吸附力小，不光滑
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