底衬的粗糙度对成膜有什么样的影响

2010-03-09 22:45 | 只看楼主 树型| 收藏| 小中大 1^#

底衬的粗糙度对成膜有什么样的影响？
如果表面太光滑，是否会对膜与底衬的结合力造成不好的影响

2010-03-10 08:21 树型| 收藏| 小中大 2^#

衬底的粗糙度在一定程度上决定了膜表面的粗糙度，若衬底凸凹不平或有大的颗粒存在，则膜在相应的位置也将出现相应的状况，而且膜基结合力也将不好。至于基片表面光滑对膜基结合力的影响，我个人为应该没什么，膜基结合力主要是膜与基片在晶格上的适配度吧

东四十条

2010-03-10 11:06 树型| 收藏| 小中大 3^#

不同的镀膜方法影响不同，用的precursor和手段不同，会导致不同结果，大体上说，物理沉积法会延续粗糙度，而化学沉积法有可能使薄膜趋于平滑
薄膜脱落主要是由晶格大小不同而产生的应力造成的，也就是上下两层不同薄膜间应力
当然，具体问题还要具体分析

2010-03-10 22:30 | 只看楼主 树型| 收藏| 小中大 4^#

谢谢大侠们，我开始直观认为的是底衬粗糙度高的和膜的结合力会好些，因为摩擦系数高，
如果表面太光滑，摩擦系数低，薄膜结合不牢。
现在学习来，PVD薄膜与底衬间的结合力主要是晶格匹配问题，是不是两者晶粒取向比较一致，晶格参数比较接近，空间群比较相似（有相似的晶体结构），结合力就会好些

东四十条

2010-03-10 22:48 树型| 收藏| 小中大 5^#

回复 4# tianwen22 的帖子

这个主要跟粗糙度关系不大，
你下面说的那个，大体上是，但是具体问题可能有区别

2010-03-12 14:53 树型| 收藏| 小中大 6^#

2010-04-02 11:25 树型| 收藏| 小中大 7^#

表面粗糙可能会是形成的薄膜吸附力小，不光滑

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