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[sputtering] 膜裂问题 [复制链接]

shao2004
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t T
发表于 2010-03-10 11:37 |只看楼主
请问如何减小膜裂，比如该如何调节靶基距，溅射功率，溅射气压等？
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huixiumei
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t T
发表于 2010-03-10 13:36 |只看该用户

我之前有做过22um的Cr。镀后表面有裂纹。减小气压，增加溅射功率，增加靶基距可以改善。 不知道对你是否适用。
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fzc
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t T
发表于 2010-03-10 18:34 |只看该用户

请问楼上的是用什么机器镀22um那么厚？
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mhw763092
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t T
发表于 2010-03-11 10:11 |只看该用户

加热衬底应该会好点吧。
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殘餘人生
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Medal No.4
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t T
发表于 2010-03-12 14:45 |只看该用户

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XW20304050
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t T
发表于 2010-05-06 22:05 |只看该用户

鍍後膜層裂痕如何判斷阿
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朱朱
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t T
发表于 2010-05-07 12:22 |只看该用户

增加积分很不容易呀
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liusee199
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t T
发表于 2010-05-08 12:13 |只看该用户

顶！谢谢分享！
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Lungs
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t T
发表于 2011-06-04 18:06 |只看该用户

游学到此,只觉未尽兴,期待更多高手解决
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