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[sputtering] 膜裂问题
shao2004
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2010-03-10 11:37
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膜裂问题
请问如何减小膜裂,比如该如何调节靶基距,溅射功率,溅射气压等?
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huixiumei
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2010-03-10 13:36
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我之前有做过22um的Cr。镀后表面有裂纹。减小气压,增加溅射功率,增加靶基距可以改善。
不知道对你是否适用。
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fzc
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2010-03-10 18:34
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请问楼上的是用什么机器镀22um那么厚?
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mhw763092
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2010-03-11 10:11
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加热衬底应该会好点吧。
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2010-05-06 22:05
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鍍後膜層裂痕如何判斷阿
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朱朱
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2010-05-07 12:22
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增加积分很不容易呀
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liusee199
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2010-05-08 12:13
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