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[sputtering] 膜裂问题

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2010-03-10 11:37 | 只看楼主 树型| 收藏| 小中大 1^#

膜裂问题

请问如何减小膜裂，比如该如何调节靶基距，溅射功率，溅射气压等？

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2010-03-10 13:36 树型| 收藏| 小中大 2^#

我之前有做过22um的Cr。镀后表面有裂纹。减小气压，增加溅射功率，增加靶基距可以改善。
不知道对你是否适用。

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2010-03-10 18:34 树型| 收藏| 小中大 3^#

请问楼上的是用什么机器镀22um那么厚？

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2010-03-11 10:11 树型| 收藏| 小中大 4^#

加热衬底应该会好点吧。

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2010-03-12 14:45 树型| 收藏| 小中大 5^#

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2010-05-06 22:05 树型| 收藏| 小中大 6^#

鍍後膜層裂痕如何判斷阿

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2010-05-07 12:22 树型| 收藏| 小中大 7^#

增加积分很不容易呀

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2010-05-08 12:13 树型| 收藏| 小中大 8^#

顶！谢谢分享！

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