ITO的应用和靶材的制备技术
铟在自然界是稀散金属, 在矿床中常与锡伴生. 已探明我国某矿床的铟储量为440 t,
年冶炼铟的生产能力为40 t. 全世界每年铟的生产能力约为150 t, 我国年冶炼铟可达50
t, 居世界首位. 然而我国铟金属主要供外销, 对其深加工高新技术产品尚处于起步阶段.
为使资源增值, 合理利用铟资源的重要途径之一是生产 ITO 靶材. 近年来我国引进了多
条 ITO 膜生产线, 为制备高性能的膜, 必须 优先发展高质量的 ITO 靶材, 但其靶材由国
外供给, 国外对 ITO 靶材制备技术严密封锁. 为此, 有必要对现有 ITO 靶材生产技术作
充分地了解, 开发制备 ITO 靶材的新技术