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帮看一下磁控溅射铝膜的SEM图片 [复制链接]

cuilin0512
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1#
t T
发表于 2010-04-06 14:37 |只看楼主
帮看一下磁控溅射铝膜的SEM表面图片   
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为什么表面会出现这种情况    下面的样品加了100V偏压
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    殘餘人生
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    2#
    t T
    发表于 2010-04-06 14:40 |只看该用户

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    xhzhi1985
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    t T
    发表于 2010-04-06 18:56 |只看该用户

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    blackspace
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    4#
    t T
    发表于 2010-04-06 19:19 |只看该用户

    感觉加偏压后都铝膜都融了呢？是不是热效应引起的啊？
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    Coatingtech
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    coatingdata团队

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    5#
    t T
    发表于 2010-04-06 20:16 |只看该用户

    很明显浸润性不好。膜层的附着力不行啊。 而且薄膜的致密度很差。似乎生长的太快了
    擅长领域：MOCVD,ALD,PLD等薄膜制备技术工艺开发，关注领域LED外延工艺技术与芯片制程技术，MO源合成技术，多晶陶瓷靶材制备技术，热电材料的研究与开发。
    欢迎大家加入论坛与我们交流薄膜技术。
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    mhw763092
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    t T
    发表于 2010-04-06 21:26 |只看该用户

    基片加热了没？
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    cuilin0512
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    t T
    发表于 2010-04-07 08:42 |只看楼主

    基片加热了为100°
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    mahaihan
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    t T
    发表于 2010-04-07 11:15 |只看该用户

    赚积分，这个不懂啊
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    mgwang008
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    t T
    发表于 2010-04-08 09:43 |只看该用户

    回复 7# cuilin0512 的帖子

    一百度是不是有点低了
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    冰雨
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    冰雨

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    t T
    发表于 2010-04-09 12:51 |只看该用户

    没专门做这个，明显致密比较差，在温度上再加点试试
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    jastking
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    t T
    发表于 2010-04-09 14:17 |只看该用户

    f进来学习学习 。。。。。
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    ky01008
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    t T
    发表于 2010-04-10 20:18 |只看该用户

    请教   截面怎么做得？ 希望指教
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    冰雨
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    冰雨

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    t T
    发表于 2010-04-11 16:33 |只看该用户

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    股海漫步
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    t T
    发表于 2010-04-12 20:44 |只看该用户

    应该是基片温度偏高所致，膜的致密性不好，附着力极差
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    冰雨
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    冰雨

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    t T
    发表于 2010-04-13 17:12 |只看该用户

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    r9arrow
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    t T
    发表于 2010-04-19 15:54 |只看该用户

    楼主把详细的工艺都说说啊，背景真空、温度、溅射气压、溅射功率、总溅射时间、降温方式？ 致密性差的本质是气相原子入射到基片上后迁移能力小，扩散不足，从而阻碍晶粒长大(大晶粒吃小晶粒)，导致孔洞较多。 首先，基片温度对其影响最大，提高基片温度是改善的一个途径。 另外，若背景真空度不够，残余气体中的活性成分O2、H2O会造成最表面的铝氧化，阻碍致密化过程。(在此过程下提高温度会加剧氧化，故温度也不是越高越好) 第三，溅射功率太低，即沉积速率太慢，后续原子覆盖不及时，增加了每层原子被氧化的概率，也会导致致密性差。 以上意见，仅供参考哈！
    最后编辑r9arrow 最后编辑于 2010-04-19 16:08:18
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    lit_cai
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    t T
    发表于 2010-04-19 17:22 |只看该用户

    请问金属的截面怎么做的啊。不破坏薄膜情况下。
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    xhzhi1985
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    t T
    发表于 2010-04-24 16:00 |只看该用户

    回复 1# cuilin0512 的帖子

    Lz，请教一下，你截面是怎么做的？
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    boboxinxue07
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    t T
    发表于 2010-04-29 14:30 |只看该用户

    一开始对长方形的样品中间部分进行线切割，但不切断，留一点，再镀膜，读完之后两边一掰就可以看截面了，不过掰开之后要马上看，要不然就有差了
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    sinvi
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    t T
    发表于 2010-05-24 11:11 |只看该用户

    问问楼主 侧断面的时候是自然断面还是切割打磨后的断面啊？？？？
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    caiyazhi
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    t T
    发表于 2010-08-31 21:37 |只看该用户

    光看这个图片很难分析,但是几片温度是低了点!
    回忆是糖，甜到忧伤！
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    wolfliu
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    t T
    发表于 2010-09-07 13:30 |只看该用户

    1，基底材料选择不好或者是基底材料表面处理不当。 2，基底材料导热性差。 3，薄膜沉积参数，尤其是沉积功率或气体流量过大，导致薄膜表现出融化痕迹，从而阻碍了其择优生长。 4，从图片上看，好像铝薄膜存在氧化现象。 5，可以采用XRD对其进行金相结构分析。
    QQ：67330418
    Email：wolf.liuf@163.com
    求真务实！
    不以求备取人，不以己长格物!
    黜虚名以求实效，存实绩而图奋进。
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