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求助：射频磁控溅射薄膜实验不能重复？ [复制链接]

弯月
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弯月

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t T
发表于 2010-05-14 12:51 |只看楼主
本人用RF磁控溅射掺铝氧化锌薄膜，为什么在在同一条件下得到薄膜的电导率和透光率差别很大。是因为靶材的线性差异还是镀膜系统不稳定？
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xiaohuang
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t T
发表于 2010-05-15 23:40 |只看该用户

还可以重复
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zhangjinlin001
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t T
发表于 2010-06-20 07:03 |只看该用户

偶然因素造成的！
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