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[sputtering] 关于磁控溅射磁钢问题？ [复制链接]

jasonmax02
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1#
t T
发表于 2010-07-19 10:04 |只看楼主
现在制作阴极里面的磁钢，有很多材料，磁场强度也不一样，是不是磁场越强越好？？ 我有2个阴极，第一个用的材料，充磁后大约在1200高斯，第二个用的材料，充磁后大约在4500高斯。 用下来，发现第二个阴极的电压基本不会超过400V，第一个阴极电压能调到600V。 各位对磁控溅射的认识，能不能给我点建议。
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jasonmax02
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2#
t T
发表于 2010-07-19 22:13 |只看楼主

这个论坛堕落了吗？现在怎么都没人回复了~~
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flashxu0119
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Medal No.3
3#
t T
发表于 2010-07-19 22:33 |只看该用户

一般情况下，磁场越强好越好，但也与你所有的靶材相关。沉积出的薄膜符合要求的就是好的。
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lywzd16
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Medal No.6
4#
t T
发表于 2010-07-19 23:56 |只看该用户

在保证磁力线分布合适的情况下，当然是磁场强度越高越好
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xiangdongt
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5#
t T
发表于 2010-07-30 17:05 |只看该用户

电压的大小和工作压力有关
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jasonmax02
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6#
t T
发表于 2010-10-20 21:26 |只看楼主

原帖由 xiangdongt 于 2010-7-30 17:05:00 发表 电压的大小和工作压力有关
压力大小都保持在0.5pa，会不会是电源的问题？？
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bislarge
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Medal No.6
7#
t T
发表于 2010-10-20 22:16 |只看该用户

当你的工件的满足你的客户要求当然是强磁好，，溅射效率大点。 如果你的工件要求高点的话，，建议还是弱磁好
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SiO2
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8#
t T
发表于 2010-10-21 21:23 |只看该用户

磁场强,电压低, 磁场弱,电压高, 无好坏,看要求
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ohmyson
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9#
t T
发表于 2010-10-21 21:41 |只看该用户

回复 7# bislarge 的帖子

工件要求高点是什么意思？
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朱朱
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t T
发表于 2010-10-22 10:18 |只看该用户

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jasonmax02
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t T
发表于 2010-10-22 22:13 |只看楼主

回复 7# bislarge 的帖子

工件要求高点，用弱磁？？此话怎讲，能不能解释下~！！
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yjlzg
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Medal No.6
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t T
发表于 2010-10-23 08:23 |只看该用户

磁场对电子的运动半径有影响和电子流， 磁场强，半径好像是小，电流高了了，电压就加不上。不知道这样解释对不。
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caiyazhi
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t T
发表于 2010-10-26 19:06 |只看该用户

回复 12# yjlzg 的帖子

应该是等离子体密度提高了，电荷密度提高了，漂移电流阻抗角小了，电压就降下来了！
回忆是糖，甜到忧伤！
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sxqlyq
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t T
发表于 2010-10-26 21:36 |只看该用户

磁场太强了也不好的，那样电子的回旋半径太小了，不利于积聚 能量，如果电子能量太低，在和气体碰撞时，很难使气体离化。
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liugy267
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t T
发表于 2010-10-29 19:49 |只看该用户

回复 7# bislarge 的帖子 工件要求高点，用弱磁？？此话怎讲，能不能解释下~！！ -------------------------------------------------------------- 同问
欢迎装饰镀膜的朋友一起交流心得，共同进步！
QQ:156307908
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朱朱
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发表于 2011-05-30 17:26 |只看该用户

磁场强,电压低, 磁场弱,电压高, 主要关系到沉积速率
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Lungs
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发表于 2011-06-02 15:25 |只看该用户

来此学习,增加积分,TKKS!
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wqqxwpg13
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t T
发表于 2011-06-02 21:11 |只看该用户

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