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[其他技术] ML系列朗缪尔探针系统

ML系列朗缪尔探针系统

        ML系列朗缪尔探针系统基于虚拟仪器原理设计,简化了硬件结构,抗干扰性强,工作可靠,能够灵活地用于不同特点的等离子体。其中ML-01型为通用型;ML-02型为功能扩展型,可用于诊断射频等离子体;ML-03型是双探针型,可适用于诊断电弧离子镀等离子体等,对等离子体扰动小;ML-04型是三探针型,可用于诊断非连续放电等离子体及监控等离子体参数随时间的变化。基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法已申报国家发明专利。仪器已在北京、西安和日本等实验室的等离子体装置上获得了应用。ML系列朗缪尔探针系统的软件界面友好,操作简便,诊断与数据处理全过程自动完成,不需要人工对数据进行处理和计算。图为探针系统和通用型软件界面。

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http://mmlab.dlut.edu.cn/lab-tecn.htm
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