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[离子束] 镀膜速率对薄膜微观结构及晶粒尺度的影响

镀膜速率对薄膜微观结构及晶粒尺度的影响

最近看到一篇美国人的文献,采用电子束镀金属薄膜,任务沉积速率对薄膜的微观结构和晶粒度没有
大的影响,不知哪位大侠做过这方面的研究,能说说你们的看法吗

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标题: 镀膜速率对薄膜微观结构及晶粒尺度的影响

· 最近看到一篇美国人的文献,采用电子束镀金属薄膜,任务沉积速率对薄膜的微观结构和晶粒度没有 大的影响 tianwen22 发表于 2010-3-9 22:27:00
   · :default6: :default7: 殘餘人生 发表于 2010-3-12 14:49:00