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底衬的粗糙度对成膜有什么样的影响

衬底的粗糙度在一定程度上决定了膜表面的粗糙度,若衬底凸凹不平或有大的颗粒存在,则膜在相应的位置也将出现相应的状况,而且膜基结合力也将不好。至于基片表面光滑对膜基结合力的影响,我个人为应该没什么,膜基结合力主要是膜与基片在晶格上的适配度吧

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标题: 底衬的粗糙度对成膜有什么样的影响

· 底衬的粗糙度对成膜有什么样的影响? 如果表面太光滑,是否会对膜与底衬的结合力造成不好的影响 tianwen22 发表于 2010-3-9 22:45:00
   · 衬底的粗糙度在一定程度上决定了膜表面的粗糙度,若衬底凸凹不平或有大的颗粒存在,则膜在相应的位置也将出 kxy1939 发表于 2010-3-10 8:21:00
   · 不同的镀膜方法影响不同,用的precursor和手段不同,会导致不同结果,大体上说,物理沉积法会延续 super_zu 发表于 2010-3-10 11:06:00
   · 谢谢大侠们,我开始直观认为的是底衬粗糙度高的和膜的结合力会好些,因为摩擦系数高, 如果表面太光滑, tianwen22 发表于 2010-3-10 22:30:00
      · 这个主要跟粗糙度关系不大, 你下面说的那个,大体上是,但是具体问题可能有区别 super_zu 发表于 2010-3-10 22:48:00
   · :default6: :default7: 殘餘人生 发表于 2010-3-12 14:53:00
   · 表面粗糙可能会是形成的薄膜吸附力小,不光滑 mahaihan 发表于 2010-4-2 11:25:00