[sputtering] 膜裂问题
shao2004
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标题: 膜裂问题
| · 请问如何减小膜裂，比如该如何调节靶基距，溅射功率，溅射气压等？ | shao2004 | 发表于 2010-3-10 11:37:00 |
| · 我之前有做过22um的Cr。镀后表面有裂纹。减小气压，增加溅射功率，增加靶基距可以改善。 不知道对 | huixiumei | 发表于 2010-3-10 13:36:00 |
| · 请问楼上的是用什么机器镀22um那么厚？ | fzc | 发表于 2010-3-10 18:34:00 |
| · 加热衬底应该会好点吧。 | mhw763092 | 发表于 2010-3-11 10:11:00 |
| · :default6: :default7: | 殘餘人生 | 发表于 2010-3-12 14:45:00 |
| · 鍍後膜層裂痕如何判斷阿 :default5: | XW20304050 | 发表于 2010-5-6 22:05:00 |
| · 增加积分很不容易呀 | 朱朱 | 发表于 2010-5-7 12:22:00 |
| · 顶！谢谢分享！ | liusee199 | 发表于 2010-5-8 12:13:00 |
